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電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

透過電子顕微鏡 H-9500

ハイスループット観察を主眼においた、ロバストなワークホース 汎用300 kV TEM

超高分解能観察に最適な300 kV LaB6 電子銃を搭載。結晶粒界の高分解能像観察や、電子線回折像の取得に最適の装置です。透過電子顕微鏡にとって必要な高分解能観察に加え、高機能で快適な操作性を実現しました。H-9000シリーズで実績のある300 kV透過電子顕微鏡のカラムに、最新デジタルカメラを組み合わせることにより、超高分解能像を容易に実現し、サブナノオーダーの世界を切り拓きます。300 kVまで高圧印加3分、試料交換1分とハイスループットを実現しています。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    特長

    シンプル操作で、超高分解能観察を実現

    シンプル操作で、分解能0.10 nm(格子像)、0.18 nm(粒子像)を実現。ドリフトレスなユーセントリックゴニオメータステージを採用し、さらに最新デジタルカメラと組合せることで、ハイスループット観察にご利用いただけます。

    ワイドギャップ対物レンズ*1をオプション設定

    標準レンズに加え、ご用途により、ワイドギャップ対物レンズ*1の選択も可能です。

    ナノエリア制限視野回折*1

    制限視野絞り*1の径を極小にすることで、10 nm径程度までのエリアを選択可能で、ナノエリアでの制限視野回折*1を実現します。

    ガス導入その場観察*1に対応

    照射系の差動排気を強化することで、試料室へのガス導入が可能です。ガス導入による試料の酸化・還元等の化学変化の様子を、リアルタイムでその場観察いただけます。

    各種日立製高機能ホルダ*1に対応

    日立FIB共用、3D解析、雰囲気遮断、ガス導入試料加熱、等の各種ホルダ*1に対応。

    *1:
    オプション

    仕様

    項目内容
    分解能*2 0.10nm(格子像)
    0.18nm(粒子像)
    加速電圧 300kV、200kV*1、100kV*1
    倍率ZOOM 1,000~1,500,000倍
    SA 4,000~500,000倍
    LOW MAG 200~500倍
    電子銃フィラメント LaB6直流加熱方式
    フィラメント交換 自動ガンリフト機構
    高圧ケーブル 抵抗ケーブル
    照射系レンズ構成 4段レンズ方式
    可動絞り機構 4段切替クリックストップ方式
    結像系レンズ構成 5段レンズ方式
    対物レンズ可動絞り 4段切替クリックストップ方式
    制限視野可動絞り 4段切替クリックストップ方式
    電子回折カメラ長 250~3,000mm
    試料室試料ステージ ユーセントリック5軸ハイパーステージ
    試料サイズ 3mmΦ
    試料位置表示 オートドライブ機能・試料移動トレース機能
    試料傾斜角 α:±15°以上、β:±15°以上
    試料汚染防止 レンズ周辺包囲方式
    ベーキング機能 マイルドベーキング機能内蔵
    観察室蛍光版 主蛍光板:110mm
    双眼ルーペ 倍率:7.5倍
    カメラ室視野切替 1、2視野(フル/ハーフ)随時切替
    フィルム装填数 25枚/マガジン×2セット
    制御系/GUI  OS:Windows®
    モニター表示 19型モニタ
    機能 データベース、測長機能、画像処理
    デジタルCCDカメラ*3カメラカップリング レンズカップリング
    有効画素数 1,024×1,024ピクセル
    A/D分解能 12ビット
    真空排気系電子銃部 イオンポンプ 60L/s
    鏡体部 ターボ分子ポンプ 260L/s
    観察室、カメラ室 油拡散ポンプ 280L/s
    油回転ポンプ 135L/min 3式
    大きさ 本体: 2,140(W)×1,610(D)×2,680(H)(mm)
    DC電源: 535(W)×920(D)×1,820(H)(mm)
    レンズ電源: 535(W)×930(D)×1,500(H)(mm)
    HVタンク: 470(W)×650(D)×730(H)(mm)
    油回転ポンプ: 235(W)×526(D)×310(H)(mm)×3台
    エアコンプレッサ:(オプション) 560(W)×280(D)×530(H)(mm)
    *
    :上記仕様は300kV時のものです
    *1
    :オプション
    *2
    :倍率保証はオプションです
    *3
    :1k×1kデジタルCCDカメラオプション付属の時の仕様です

    据付条件

    項目内容
    室温 15~25℃
    湿度 40~60%RH
    電源 単相AC200V 100A
    接地 D種接地(100Ω以下)
    冷却水 29,300kJ/h以上の冷却水循環装置(オプション)をご用意ください

    設置例

    日立透過電子顕微鏡 H-9500の設置例

    観察例

    材料

    Si3N4 高分解能TEM像

    Si3N4 high resolution TEM image
    Accelerating voltage : 300 kV

    TiO2 ガス導入試料加熱 in situ TEM観察

    TiO2 gas-injecting in situ TEM observation
    Temperature : 380°C
    Atmosphere : Air@6 Pa on specimen

    Pt/グラファイトカーボン 高分解能TEM像

    Pt/Graphite carbon high resolution TEM image
    Accelerating voltage : 100 kV

    半導体

    Siデバイス 高分解能TEM像

    Si device high resolution TEM images

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