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各種の電子顕微鏡周辺装置をご紹介します。
S-5500／SU9000用ウエハサンプルに特化した、平面・断面試料ホルダです。ウェーハサンプルをホルダにセットする際の作業効率の向上が図れます。
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停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。
本装置には、タイマーリレーが付いており、自動的に冷却水を止めます。減圧定流量弁が付いており、常に一定の水圧と流量を保持します。
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。 お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
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