©(株)日立サイエンスシステムズ 黒田靖、矢口紀恵、上野武夫
©(株)日立ハイテク 大西毅
写真は集束イオンビーム(FIB)加工技術を用いて製作した世界最小のダイヤモンドリングです。使用したダイヤモンド原石の大きさは直径が100分の1 mm、仕上がったダイヤモンドは10億分の5カラットです。リングには直径約20µmの硬くて丈夫なタングステンを用いました。
ダイヤモンドリング写真の周辺に加工手順を添付しました。タングステン線からの材料の切り出し、リング加工、リングへのダイヤモンド原石の取り付けとその仕上げ加工まで、すべて一台のFIB加工装置の中で行ないました。
もともと半導体デバイスの修復や評価用に開発されたFIB加工技術ですが、マイクロマニピュレーション技術の発達により、このような微細加工も出来るようになりました。
2004年(第60回)日本顕微鏡学会(8APEM)
写真コンクール 金賞受賞作品
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