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PZT薄膜表面観察と粗さ評価

微小ハイアスペクト形状の評価
ジャンル 無機材料
モード DFM
測定領域 4µm
ステーション NanoNaviⅡ
装置 Nanocute

解説

PZT薄膜表面
NTT-測定値
Fig.1 PZT薄膜表面

SPMは非常に鋭利な先端の探針を使用しているためナノレベルの凹凸での高精度な表面粗さ評価が可能です。

ここでは、PZT薄膜表面凹凸の観察と粗さ評価の結果についてご紹介します。

Fig.1は、PZT薄膜表面のDFM形状像(a)、断面プロファイル(b)、JISB0601に準拠した粗さパラメータ(c)です。 表面粗さは6.67nm、最大高さ63.9nmと計測されました。

近年、ナノスケールにおける表面粗さのJIS規格が制定されましたが、この事例のように、ナノレベルの平滑面を品質管理するのに最適です。日立ハイテクサイエンスでは、いち早くこの手法をシステムに組み込んでいます。

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