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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

磁気力顕微鏡(MFM:Magnetic Force Microscope)

原理: 磁性探針と試料磁界との磁気的作用によるカンチレバー振動の位相変化により磁気力勾配の分布を画像化します。

  • 磁性探針は微小な棒磁石です。先端のS極(またはN極)と同極で斥力、異極で引力が作用します。
  • 磁気的引力、斥力作用はレバー振動の位相差で検出することができます。

MFMの走査方法

  • MFMは最初、表面形状信号をDFMで測定します(1st Scan)。
  • 同じラインを戻って、探針を一定距離離した非接触状態とし、1st Scanで記憶させた表面形状をトレースしながら、磁気力による位相変化を測定します(2nd Scan)。
  • こうして、表面形状から常に同じ高さにおける磁気力の分布がわかります。


MFMの走査方法

磁気力顕微鏡(MFM:Magnetic Force Microscope)の適用例

ナノスケール磁性体~ Y字型パーマロイ

表面形状像

MFM像

表面形状像とMFM像の重ね合せ

Y字型パーマロイ規則配列の磁気構造(東京農工大学 佐藤勝昭研究室と日立ハイテクサイエンスとの共同研究)