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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

SIS(Sampling Intelligent Scan)モード

測定ポイントのみ探針を接近させ、それ以外の時は探針を待避させ、試料形状に合わせて走査スピードを自在にコントロールするインテリジェントな形状測定モードです。


この区間の動作は“待避” この区間の動作は“退避”

【SIS動作】

  • データ取得時のみ探針を接近 させ、高さ情報を取得 (DFMによる測定)
  • データ取得時以外は、探針を試料上空に待避 (摩耗軽減)
  • 探針の移動時、試料と衝突しそうな場合、走査速度を減速 し、探針を試料上空に退避 (カンチレバーの保護)

【SIS動作の利点】

  • 探針と試料の接触回数低減
  • 水平方向の力の影響を排除

【SISの効果】

  • 探針磨耗や試料ダメージの低減
  • 繰り返し測定精度が飛躍的に向上
  • 高精度ハイアスペクト形状観察(※)
  • 吸着が大きい試料や 軟らかい試料の安定観察
  • カーボンナノプローブやハイアスペクト探針およびクローズドループスキャナと組み合わせることで、従来困難だったハイアスペクト形状観察を簡単に行なうことが可能となりました。SIS動作説明の動画をSPMギャラリーNo.19『SISモードの紹介』にて紹介しています。