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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

マイクロ粘弾性顕微鏡(VE-AFM:Visco-Elasticity Atomic Force Microscopy)

原理: 試料を縦振動させた際のカンチレバーのたわみ振動から粘弾性分布を画像化します。

スキャナ側から試料へ加えた縦振動の入力信号が、探針先端と試料の粘弾性的な作用により、出力信号としてカンチレバーのたわみ振動と試料の変形振動とに分配されます。試料が硬ければ、試料変形が少ない分、カンチレバー振動が大きくなります。試料が軟らかければ、試料変形振動が誘起され、カンチレバー振動は小さくなります。

【VE-AFMの用途】

  • 高分子、金属材料、無機材料などの表面の粘弾性マッピング
  • 温度スウィープにおける表面転移計測

マイクロ粘弾性顕微鏡(VE-AFM:Visco-Elasticity Atomic Force Microscopy)の適用例

ポリスチレン上のシリコン系油膜の粘弾性分布測定

形状像

粘弾性像


(約10µm)

<参考資料>

塗膜が分散したポリスチレンフィルムの粘弾性分布測定

形状像

粘弾性像


(約7µm)

<参考資料>