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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

Nano/Pico Current AFM

原理: 試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をI/Vアンプによって計測し、画像化します。

測定した電流マッピング画像の任意の場所でIVカーブ(電流-電圧特性)を測定することが可能です。

■標準タイプ:108V/Aアンプ
 計測範囲: 0.1nA~100nA
 電流分解能: 5pA RMS
■低電流タイプ:1011V/Aアンプ
 計測範囲: 0.1pA~100pA
 電流分解能: 100fA RMS 以下

【Nano/Pico Current AFMの用途】

  • 電子デバイスなどの電気特性評価
  • 電子材料、強誘電体膜などのリーク電流評価(絶縁性評価)

Nano/Pico Current AFMの適用例

試料:DVD-RAM

形状像

電流像

DVD-RAMの保護層を剥がし、バイアス電圧1Vで測定した電流像。
記録マークのアモルファス相には電流が流れていません。

<参考資料>

試料:強誘電体薄膜

強誘電体薄膜のリーク箇所の同定 どの場所でリークしているか一目でわかります。