なぜ、真空中のSPM観察は有効なのか

真空環境におけるSPM観察の有効性
　大気の成分は窒素が最も割合が多く、次いで酸素、残りはその他の微量元素であり、その成分比は地球上のどこでもほぼ一定です。しかし水蒸気の量は地域や天候、季節によって変わってきます。この水蒸気は大気圧、室温下で物質表面に吸着しており、ガラスなどでも相対湿度4～5%で単分子層の水分子が表面を覆い、相対湿度がもっと大きいと複数の水分子層で表面が濡れた状態になります。例えば、晴れた日の湿度40%と、雨の日の湿度80%を比較すると、それだけでも吸着水の量や大気ガスに含まれる水蒸気の量が大きく違ってきます。大気中のSPM観察では、試料表面も探針表面も、このような吸着水で覆われていると考えられます。

更に、大気中ではガス分子が試料やカンチレバーに絶えず衝突を繰り返しています。

テクニカルレポート

真空環境におけるSPM観察の有効性について、レポート形式でご紹介しています。

• 1. 真空中SPM観察の有効性 （PDF形式:972KB）

• Conductive-AFM測定における吸着水の影響
• 強誘電体薄膜のC-AFMによるリーク評価
• 陽極酸化の影響
• 真空中SPM電気測定における陽極酸化影響の排除
• 様々なSPM物性計測における真空中高分解能観察の可能性

• 2. 真空中-キャリア分布測定の有効性 （PDF形式:539KB）

• 半導体キャリア分布測定について
• 真空中SSRMによるキャリア分布測定の有効性

• 3. 真空中-電磁場測定の有効性 （PDF形式:781KB）

• カンチレバー振動における大気中と真空中の違い
• 大気中と真空中におけるQ値の振幅依存性
• 大気中と真空中における共振カーブ、位相カーブの探針高さ依存性
• Q値制御法
• 真空中電磁場測定における感度向上

• 4.　真空中測定～熱酸化防止、氷付着防止 （PDF形式:621KB）

• 試料加熱時の熱酸化防止
• 試料冷却時の氷付着防止

• 5. 真空中SPM観察で広がるアプリケーション （PDF形式:467KB）

• これまで当社で相談を受けたことがある真空環境での観察要望やユーザー様の成功事例などをご紹介します。

真空中SPM観察が可能な環境制御型SPM製品のご紹介

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