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技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

電子顕微鏡観察において、コンタミネーションを抑制し本来の試料表面を観察することが重要です。コンタミネーションは観察対象表面に存在するハイドロカーボンと電子線の相互作用に起因し形成され、ハイドロカーボンは試料の前処理時や保管時に試料表面に付着します。
“ZONE II for SEM”は低真空に制御した試料室内にUV光を照射して生成されるオゾンと活性酸素により試料表面に付着したハイドロカーボンを除去し、コンタミネーションの生成を低減します。従来製品と比べタッチパネル制御による簡易な操作、小型化を実現しました。“ZONE II for SEM”は洗浄液が不要な環境負荷の少ないドライクリーニング法を採用しています。

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