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技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

日立ハイテクノロジーズは、電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の新ブランド「Regulusシリーズ」を発売しました。「SU8010」の後継機種として開発した「Regulus8100」と、プラットフォーム共通化により「SU8200シリーズ」の機能を拡張した「Regulus8220」「Regulus8230」「Regulus8240」の4機種をラインアップし、分解能と操作性を向上する機能強化を実現しました。

主な特長

  1. 収差が小さく低加速電圧での高分解能観察に最も適したコールドFE電子銃を搭載
  2. 従来機種比、約20%の分解能向上を実現
    (Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV、Regulus8100:1.1 nm/1 kV)
  3. 最大倍率を従来の100万倍から200万倍まで拡張(Regulus8220/8230/8240)
  4. 高い性能を十分に発揮するユーザーサポート機能

撮影画像イメージ:拡張された倍率 触媒の二次電子像(倍率:150万倍)

ユーザーサポート機能イメージ図
ユーザーサポート機能の一つ
SEM信号検出状態表示機能
使用されている検出器の動作原理と得られる信号を表示し、多様な検出系による観察をサポートします。

写真:Regulus8240外観

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