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Hitachi

卓上顕微鏡 TM3030Plus/TM3030日立ハイテクノロジーズ

卓上SEMは、次のステージへ。

もっと高画質に、もっと使いやすく、見やすく。
観察ニーズの"もっと"にお応えする最新テクノロジーを搭載したTM4000シリーズ。
卓上SEMの世界を広げ、さらなるイノベーション創出をお手伝いします。

TM4000Plus

Features

直感的な操作で目的データをレポート作成まで支援

「試料の前処理を行わず、すぐに装置を起動し、手早く簡単に目的のデータを取得したい」そんな声にお応えするため、TM4000シリーズではあらゆる点を見直しました。 最大80 mm径、厚さ50 mmの試料サイズに対応。装置内蔵の光学カメラ(オプション)により視野探しも容易です。
試料を搭載してから画像取得までの時間は約3分。形状観察から元素分析、レポート作成まで、従来のワークフローをより短縮化します。

Camera Navi(オプション)

カメラ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート

MAP機能で観察をサポート

Report Creater

画像とテンプレートを選択するだけで、Word®、Excel®、Powerpoint®形式のレポートが完成。

 

新設計の電子光学系によりさらに高画質を実現

試料:セメント 5kV UVD

オイルフリーの排気系によって場所を選ばず設置できる環境配慮型SEM

オイルフリーポンプとフィラメントの中心合わせが不要なカートリッジフィラメントを採用

 

  • * Miniscopeは株式会社日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。

Detector

低真空二次電子検出器(TM4000Plus)

上位機種で搭載の高感度検出器を採用。励起光検出が可能となり、二次電子情報を持った画像を観察できます。

低真空二次電子検出器の検出原理

試料:機能性フィルム
試料:機能性フィルム
観察信号:二次電子
倍率:1,000倍

試料:散剤
試料:散剤
観察信号:二次電子
倍率:3,000倍

Specifications

項目TM4000PlusTM4000
倍率 ×10~×100,000(写真倍率)
×25~×250,000(モニター倍率)
加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV
画像信号 反射電子
二次電子
合成(反射電子+二次電子)
反射電子
真空モード 導電体(反射電子のみ)
標準
帯電軽減
標準
帯電軽減
画像モード
(反射電子)
通常、影付1、影付2、凹凸
試料可動範囲 X:40 mm Y:35 mm
最大試料サイズ 80 mm(径) 50 mm(厚さ)
電子銃 プリセンタードカートリッジタイプ
タングステンヘアピンフィラメント
検出器 反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
二次電子:高感度低真空 二次電子検出器
反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
自動画像調整機能 オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
保存画像サイズ 2,560×1,920 画素、1,280×960 画素、640×480 画素
ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG
データ表示 ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
排気系
(真空ポンプ)
ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台
ダイアフラムポンプ:20 L/min
操作補助機能 ラスターローテーション、倍率プリセット(3段)
イメージシフト(±50 µm @ WD6.0 mm)
保護機能 過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
大きさ・質量 本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(モータードライブステージ付)
本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(マニュアルステージ付)
ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm

Applications

一つのサンプルでも、評価のポイントはさまざま。電子ビーム条件(加速電圧)、検出信号を切り替えることで、評価目的に沿って画像を取得することが可能です。

観察例

加速電圧について

TM4000シリーズでは、加速電圧を5 kV、10 kV、15 kVに設定し観察が可能です。
加速電圧を変更した際に得られる像は以下の通りとなります。

加速電圧について

 

Options

TM4000/TM4000シリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置

TMシリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置 Quantax75

(製造元:ドイツBruker nano GmbH)

TMシリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置 Aztecシリーズ

(製造元:英国オックスフォード・インストゥルメンツ)

3次元計測ソフトウェア