주사투과전자현미경 HD-2700

수차 보정을 통한 고분해능 관찰・고감도 분석을 모든 사용자에게 제공합니다.

전자현미경의 성능 상, 제약이었던 구면수차를 보정함에 따라 고분해능 관찰과 고감도 분석을 동시에 진행할 수 있습니다.
히타치 하이테크에서는 더욱 간편한 조작으로 원자 레벨의 고분해능 관찰・고감도 분석을 실현한다는 콘셉트로, 구면수차보정기를 자체 개발했습니다. 구면수차 보정을 통하여 큰 수속 각도로 전자선 Probe를 취득함에 따라 분해능과 분석 성능을 향상시킬 수 있었습니다.
HD 시리즈의 특징인 다채로운 평가 분석 기능이나 뛰어난 조작성은 유지하면서, HD-2700이 구면수차 보정기의 탑재를 통하여 또 한번 새로운 가능성을 열 것입니다.

* 왼쪽 사진: HD-2700형 (수차보정기 포함)

문의하기

특징 사양 구면수차보정 SEM Image 대입체각 EDX 검출기

특징

고분해능 STEM 관찰

HAADF-STEM Image 0.136 nm, FFT Image 0.105 nm 보증 (구면수차 보정 포함).
BF Image 0.204 nm 보증 (구면수차 보정 없음).

고속・고감도 EDX 분석: Probe 전류 증대 (종래의 당사 기기 대비 약 10배)

단시간에 원소 분포 Image 취득.
미약한 Signal의 원소 검출에 위력을 발휘.
히타치 제작 구면수차보정기를 탑재. 특별한 기술 필요 없이 수차보정 시간을 단축.
"자동수차보정기능"을 탑재하여 Operator의 스킬에 관계 없이 장비의 본래 성능을 끌어낼 수 있음.
(* HD-2700형 구면수차보정 포함을 선택한 경우)

Total Solution

히타치 FIB와의 시스템 구축으로 전처리부터 데이터 취득・해석까지 제공.

사양

항목		내용
항목		구면수차보정 포함	구면수차보정 없음
Image 분해능		0.136 nm를 HAADF Image로 보증 0.105 nm를 정보 한계 (FFT)로 보증 (배율 8,000,000배)	0.204 nm 보증 (배율 4,000,000배)
배율		100~10,000,000배
최고 가속 전압		200 kV (*저가속은 옵션)
영상신호	명시야 STEM: 위상 Contrast Image (TE Image)	○
	암시야 STEM: Z Contrast Image (ZC Image)	○
	2차전자 Image (SE Image)	○
	전자회절 Image	○ (표준 부속 CCD 카메라)	옵션
	특성X선 Image	옵션 (EDX)
	EELS Image	옵션 (히타치 제품, Gatan사 제품)
전자광학계	전자원	냉음극 전계방출형	냉음극 전계방출형 SchottKey 전자원
	조사렌즈계	2단 전자 렌즈 축소 방식
	수차보정기	다중극/Transfer Lens 방식	-
	대물렌즈	고분해능 렌즈	표준 렌즈
	주사 코일	2단 전자편향방식
	ZC 검출각 설정	투사 전자 렌즈 방식
	전자시야이동	±1 µm
시료 미동	이동 범위	X, Y=±1 mm, Z=±0.4 mm
시료 미동	시료 경사	±18°	±30°
특수 홀더		3D 해석 홀더, 분위기 차단 홀더 등