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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

주사전자현미경 FlexSEM 1000

「앞선 기술의 SEM을 더 콤팩트하게」불과 폭 45 cm 가량의 콤팩트한 설계로, 4.0 nm의 Image 분해능을 실현하였습니다.
새롭게 개발된 유저 인터페이스와 전자광학계가 높은 성능을 더욱 실감나게 만들어 줍니다.

가격: 문의 요망

취급회사: 주식회사 히타치 하이테크놀로지즈

특징

FlexSEM 1000은 새로운 전자광학계와 고감도 검출기를 통해 가속전압 20 kV로 Image 분해능 4.0 nm를 실현하였습니다. 새롭게 개발한 유저 인터페이스는 밝기와 포커스의 자동 조절 기능의 고속화를 통해 단시간에 다채로운 관찰을 가능하게 합니다. 또한, 전자현미경의 결점이었던 시야 찾기의 어려움을 용이하게 해 주는 새로운 내비게이션 기능 「SEM MAP」을 탑재하여 직관적인 시야 이동을 실현했습니다.

  • 탁상 설치 가능한 콤팩트 사이즈*1로 분해능 4.0 nm를 실현
  • 독자적인 고감도 이차전자, 반사전자검출기, 저진공검출기(UVD*2)를 통해 저가속/저진공 관찰 시의 고화질화를 실현
  • 사용자의 숙련도와 관계 없이 고화질・Throughput을 실현하는 새로운 유저 인터페이스
  • 관찰 시의 시야 찾기나 시료 상의 위치 파악을 지원하는 새로운 내비게이션 기능 「SEM MAP」
  • 신속한 원소 분석을 실현한 대구경(30 mm2) 질소 비사용 EDS 검출기(SDD타입)*2
*1
탁상 설치 시에는 장비 본체와 전원 박스를 분리합니다.
*2
옵션

소형 고성능 칼럼

콤팩트하면서도 동급 최고의 분해능을 실현했습니다.

금 증착입자(SE)
금 증착입자
가속전압: 20 kV
배율: 60,000배
신호: SE
분해능: 4 nm

금 증착입자(BSE)
금 증착입자
가속전압: 20 kV
배율: 50,000배
신호: BSE
분해능: 5 nm

고화질

낮은 가속전압으로도 충분한 밝기를 얻을 수 있도록 에미션(Emission) 전류를 최적화하는 기능을 탑재하여, 노이즈가 적고 선명한 화질을 얻을 수 있습니다.

수소흡장합금(SE)
수소흡장합금
가속전압: 5 kV
배율: 30,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

Al-Ni 복합재(BSE)
Al-Ni 복합재
가속전압: 3 kV
배율: 10,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

다채로운 관찰을 고화질로&신속하게

초보자도 손쉽게 사용할 수 있도록 알기 쉬운 GUI와 자동 조정 기능을 다수 탑재했습니다. 자동 포커스(AFC), 자동 밝기(ABCC) 버튼을 누르기만 하면 최적화된 Image를 제공합니다. (자동 조정: 종래의 기종 대비 약 13초 단축을 실현)*3 물론, 터치패널을 통한 조작도 가능합니다.

*3
히타치 SEM SU1510 대비

새로운 내비게이션 시스템 「SEM MAP」

「SEM MAP」기능은 관찰 시의 시야 찾기나 위치 파악을 강력하게 지원합니다. 내장 카메라로 촬영한 Image를 토대로 샘플을 내비게이트하고, 클릭 한 번으로 관찰할 곳으로 이동할 수 있습니다.
SEM MAP 상에서 불러온 Image는 자동으로 캡처되어 맵에 표시됩니다.

탁상 설치 가능한 콤팩트 사이즈

폭 45 cm에 불과한 슬림함이 설치 면적을 최소한으로 줄입니다. 본체 유틸리티는 AC 100 V 3P 콘센트뿐입니다. 또한, 장치 본체와 전원 박스는 분리가 가능하며, 탁상 위에서 설치하는 등의 배치에 대한 자유로움이 큰 폭으로 향상되었습니다.

사양

항목내용
분해능*4 4.0 nm (2차전자 Image, 가속전압: 20 kV, 고진공 모드)
4.0 nm (2차전자 Image, 가속전압: 1 kV, 고진공 모드)
5.0 nm (반사전자 Image, 가속전압: 20kV, 저진공 모드)
가속전압 0.3 kV~20 kV
배율 ×6~×300,000 (사진배율)
×16~×800,000 (모니터 표시 배율)
저진공설정 6~100 Pa
전자총 Precentered Cartridge Filament
시료 Stage 3축 모터 Stage
X:0~40 mm、Y:0~50 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
최대 시료 사이즈 직경 80 mm
최대 시료 높이 40 mm
크기 본체:450(폭)×640(깊이)×670(높이) mm
전원박스:450(폭)×640(깊이)×450(높이) mm
검출기 옵션
  • 고감도 저진공 검출기(UVD)
  • 에너지 분산형 X선 검출기(EDS)
*4
본체와 전원 박스 연결 시
*
PC, 책상, 모니터는 포함되지 않습니다.

관찰 사례

반도체

와이어 본드

와이어 본드
가속전압:5 kV
진공도:30 Pa
배율:1,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

와이어 본드
가속전압:5 kV
진공도:30 Pa
배율:5,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

재료

이황화텅스텐

FlexSEM 1000은 저가속전압에서 높은 에미션(Emission)전류를 얻을 수 있는 신형 바이어스 시스템을 채용하고 있습니다. 저가속 전압으로 동급 최고 선명도(S/N) 의 Image를 취득할 수 있습니다.

이황화텅스텐
가속전압:15 kV
배율:10,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

이황화텅스텐
가속전압:3 kV
배율:10,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

시멘트

시멘트
가속 전압:3 kV
배율:15,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

황동광

황동광
가속전압:5 kV
진공도:40 Pa
배율:1,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

생물

나비 날개 단면

나비 날개 단면
가속전압:5 kV
배율:40,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

꽃가루

꽃가루
가속전압:5 kV
진공도:60 Pa
배율:500배
신호: UVD, 금속 코팅 없음

동영상

폭 45 cm의 콤팩트한 설계로도 4.0 nm의 Image 분해능을 실현!

새롭게 개발한 유저 인터페이스와 전자광학계가 고성능을 더욱 실감나게

Applications(Global)

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