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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

주사투과전자현미경 HD-2700

수차 보정을 통한 고분해능 관찰・고감도 분석을 모든 사용자에게 제공합니다.

전자현미경의 성능 상, 제약이었던 구면수차를 보정함에 따라 고분해능 관찰과 고감도 분석을 동시에 진행할 수 있습니다.
히타치 하이테크에서는 더욱 간편한 조작으로 원자 레벨의 고분해능 관찰・고감도 분석을 실현한다는 콘셉트로, 구면수차보정기를 자체 개발했습니다. 구면수차 보정을 통하여 큰 수속 각도로 전자선 Probe를 취득함에 따라 분해능과 분석 성능을 향상시킬 수 있었습니다.
HD 시리즈의 특징인 다채로운 평가 분석 기능이나 뛰어난 조작성은 유지하면서, HD-2700이 구면수차 보정기의 탑재를 통하여 또 한번 새로운 가능성을 열 것입니다.
*: 왼쪽 사진: HD-2700형 (수차보정기 포함)

특징

고분해능 STEM 관찰

HAADF-STEM Image 0.136 nm, FFT Image 0.105 nm 보증 (구면수차 보정 포함).
BF Image 0.204 nm 보증 (구면수차 보정 없음).

고속・고감도 EDX 분석: Probe 전류 증대 (종래의 당사 기기 대비 약 10배)

단시간에 원소 분포 Image 취득.
미약한 Signal의 원소 검출에 위력을 발휘.
히타치 제작 구면수차보정기를 탑재. 특별한 기술 필요 없이 수차보정 시간을 단축.
"자동수차보정기능"을 탑재하여 Operator의 스킬에 관계 없이 장비의 본래 성능을 끌어낼 수 있음.
(* HD-2700형 구면수차보정 포함을 선택한 경우)

Total Solution

히타치 FIB와의 시스템 구축으로 전처리부터 데이터 취득・해석까지 제공.

사양

항목내용
구면수차보정 포함구면수차보정 없음
Image 분해능 0.136 nm를 HAADF Image로 보증
0.105 nm를 정보 한계 (FFT)로 보증
(배율 8,000,000배)
0.204 nm 보증
(배율 4,000,000배)
배율 100~10,000,000배
최고 가속 전압 200 kV (*저가속은 옵션)
영상신호명시야 STEM: 위상 Contrast Image (TE Image)
암시야 STEM: Z Contrast Image (ZC Image)
2차전자 Image (SE Image)
전자회절 Image
(표준 부속 CCD 카메라)
옵션
특성X선 Image 옵션 (EDX)
EELS Image 옵션 (히타치 제품, Gatan사 제품)
전자광학계전자원 냉음극 전계방출형 냉음극 전계방출형
SchottKey 전자원
조사렌즈계 2단 전자 렌즈 축소 방식
수차보정기 다중극/Transfer Lens 방식 -
대물렌즈 고분해능 렌즈 표준 렌즈
주사 코일 2단 전자편향방식
ZC 검출각 설정 투사 전자 렌즈 방식
전자시야이동 ±1 µm
시료 미동이동 범위 X, Y=±1 mm, Z=±0.4 mm
시료 경사 ±18° ±30°
특수 홀더 3D 해석 홀더, 분위기 차단 홀더 등

구면수차보정 SEM Image

HD 시리즈에서는 2차전자검출기의 탑재를 통해, 시료 내부 정보를 포함하지 않는, 표면의 정확한 형태 파악 및 측정이 가능합니다.
구면수차보정기술의 채용으로 더 섬세한 Probe를 통한 분해능 향상과 더불어, 시료 표면의 충실한 SEM 관찰이 가능해졌습니다.

LSI Device의 단면 SEM Image
LSI Device의 단면 SEM Image
(가속 전압: 200 kV, 시료 두께: 1 µm)

2차전자검출의 원리도
2차전자검출의 원리도

 

대입체각 EDX 검출기

액체질소가 없는 100 mm2 SDD (Silicon Drift Detector)를 탑재함에 따라, 종래 대비 몇 배 높은 감도로 원소 분석이 가능해졌습니다.
원소 분석을 더욱 짧은 시간과 높은 Throughput으로 시행할 수 있게 되었습니다.

반도체 MOS 트랜지스터의 EDS Mapping 예시

장비: HD-2700B (구면수차보정기 없음)
취득 시간: 10초/프레임, 재생 속도: ×5배속

Applications(Global)

Hitachi TEM Application Data

Technical magazine
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nanoart(Global)

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