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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

고성능 집속 이온 빔(FIB) 장비 MI4050

신형 광학계 탑재로 세계 최고 수준의 SIM Image 분해능・대전류 대응에 따른 가공 스피드 향상・저가속 전압 관찰 시의 분해능 향상으로 더욱 품질 높은 TEM 시료 제작을 실현한 고성능 집속 이온 빔 (FIB) 장비입니다.
단면 가공 관찰, 고품질 TEM 시료 제작, 회로 수정, 벡터 스캔 가공, Micron~Nano 수준의 미세 Patterning 및 나노 금형 가공, Deposition을 통한 3차원 구조물의 제작 등 다종・다양한 샘플과 Application을 실현합니다.

특징

최대 Probe 전류 90 nA에 의한 가공 고속화와 대면적 가공을 실현

Wire Bonding의 단면 가공
(가공 크기 폭: 95 µm 깊이: 55 µm 가공 시간 20분)

극저가속전압 (0.5 kV~) 가공 및 저가속전압 시의 2차전자 Image 분해능 향상을 통해 더욱 Low Damage TEM 시료 제작 가능

*
1 kV 이하는 옵션

2차전자 Image 분해능 4 nm@30 kV를 통한 고분해능 SIM Image 관찰 가능


정상 부위


뒤틀린 부위

알루미늄 캔의 단면 SIM Image

높은 정밀도의 5축 전동 Mechanical Eucentric Stage 채용

Stage 이동(및 Tilt)을 동반한 복수 위치의 다양한 가공이 자동 운전으로 가능합니다.

뛰어난 조작성과 풍부한 가공 모드

  • 단면 제작 프로그램 가공
  • TEM/STEM 시료 프로그램 가공
  • 연속 자동 가공
  • 연속 TEM 시료 자동 완성 가공 소프트웨어
  • Bitmap 가공
  • 벡터 스캔 가공
  • 3D 나노 정밀 구조물 제작 외 기타


공중 나노 배선의 제작
시료 제공: 효고현립대학 마츠이 신지

SIM Image의 3D 재구축 해석

동일 간격의 슬라이스 단면 가공과 관찰을 반복하여 여러 장의 단면 SIM Image를 취득 후 재구축할 수 있습니다. 복합 입자 분산 상태나 빈 공간과 같은 3차원 정보를 가시화하는 경우 등에 유용합니다.


반도체 밀봉재 안의 Pillar 분산 분석 사례

멀티 가스 공급 시스템 (MGS-II) 를 사용한 회로 수정

보호막 재료, 배선 재료, 절연막, 증속 Etching 등 다양한 용도에 맞추어 여러 가지 가스를 조사(照射)할 수 있는 시스템입니다.

  • 텅스텐 Deposition 가스
  • Platinum Deposition 가스
  • 절연막 생성용 Deposition 가스
  • XeF2 Etching 가스
  • 유기계 Etching 가스
  • 카본 Deposition 가스


XeF2 가스를 사용한 High Aspect Hole 가공 및 텅스텐 Deposition을 통한 패드 적출

풍부한 좌표 Linkage 기능

히타치 하이테크 사이언스 독자의 풍부한 좌표 Linkage 기능을 통해, 가공 위치를 정확히 지정할 수 있으며, 큰 폭으로 시간을 단축할 수 있습니다.

  • 광학현미경 Image와 SIM Image의 Linkage
    더블 커서 기능
    일본 특허 제 4634134호 미국 특허 제 7595488호
  • 결함 검사 장비와의 좌표 Linkage
    절단된 Wafer나 Chip에서도 결함검사장비와의 좌표 Linkage가 가능합니다.
  • CAD Navigation 시스템과의 Linkage

사양

항목내용
시료 크기 50 mm×50 mm×12 mm (t) 이하
시료 Stage 5축 전동 Eucentric Stage
가속 전압 1~30 kV (0.5 kV~ 옵션)
(0.5~1.0 kV: 0.1 kV Step에서 변경 가능)
(1.0~2.0 kV: 0.2 kV Step에서 변경 가능)
2차전자 관찰 Image 분해능 4 nm@30 kV
최대 Probe 전류 90 nA
최대 Probe 전류 밀도 50 A/cm2

특별 부속품 (옵션)

  • 4 ch 멀티 가스 공급 시스템 II
  • 연속 자동 가공 소프트웨어
  • TEM 시료 자동 가공 소프트웨어
  • Manipulator 현미경 외 기타
*
:기타 MI 시리즈의 풍부한 옵션도 선택할 수 있습니다.

Applications(Global)

Hitachi FIB Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS

Tabletop Microscope (Benchtop SEM)| TM4000/TM3030Plus/TM3030 Dedicated Website

FE Electron Microscope IEEE Milestone Special Website