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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

FIB-SEM 장비, Triple Beam NX2000

궁극의 TEM 시료 제작 Tool을 목표로

최첨단 Device 및 다양한 나노 재료의 평가・해석에 있어서 FIB-SEM은 필수불가결한 Tool이 되고 있습니다.
최근 들어 대상의 구조가 미세화됨에 따라 더 얇고, 시료가공 시의 Artifact를 최소화한 TEM 박막 시료 제작 니즈가 많아지고 있습니다.
히타치 하이테크에서는 정평이 난 고성능 FIB 기술과 고분해능 SEM 기술에 자세제어와 Triple Beam®*1(옵션)을 조합한 NX2000을 개발하였습니다.

특징

높은 Contrast・실시간 SEM 가공 End Point 검지에 따라 20 nm 이하의 초박막 시료 제작에도 대응





FIB 가공 중 실시간 SEM 관찰*2 예시
시료: NAND 플래시 메모리
가속 전압: 1 kV
FOV: 0.6 µm

자세제어 기술 (Micro Sampling®*2 시스템 (옵션) + 높은 정밀도・고속 시료 미동기구*) 가 커튼 효과 제어와 균일한 두께의 박막 시료 제작에 기여합니다


자세제어 시


통상가공 시

Triple Beam®*1 시스템 (옵션)이 FIB 가공 Damage 제거의 간편화・높은 Throughput화를 추진합니다

EB: Electron Beam (전자 빔)
FIB: Focused Ion Beam (집속 이온 빔)
Ar: Ar ion beam (Ar 이온 빔)

*1
:FIB, Ar/Xe 빔, SEM 복합장비 「Triple Beam®」은 히타치 특허로 보호되고 있습니다. (특허 제4309711호, 특허 제4365438호, 특허 제4878135호, 특허 제4995802호 등). 또한, 「Triple Beam」은 주식회사 히타치 하이테크 사이언스의 일본 국내 등록 상표입니다. (상표등록 제 5136729호)
*2
:FIB 가공 중의 실시간 SEM 관찰 기능은 히타치 특허로 보호되고 있습니다. (특허 제3354846호, 특허 제3544438호, 특허 제3597761호, 특허 제3897271호 등).
*3
:TEM 시료 제작 장비 「Micro Sampling®」은 히타치 특허로 보호되고 있습니다. (특허 제3547143호, 특허 제3613039호, 특허 제3624721호, 특허 제3677968호, 특허 제3709886호, 특허 제3736333호, 특허 제4096916호, 특허 제4100450호, 특허 제4111227호, 특허 제4177860호, 특허 제4185961호, 특허 제4185962호, 특허 제4185963호, 특허 제4353962호, 특허 제4354002호, 특허 제4570980호, 특허 제4590007호, 특허 제4590023호, 특허 제4612746호, 특허 제5017059호, 특허 제5125174호, 특허 제5125184호 등). 또한, 「Micro Sampling®」은 주식회사 히타치 제작소의 일본 국내 등록 상표입니다. (상표등록 제 4399203호, 상표등록 제 4401176호)

2015년 5월 현재 내용. 특허 상황은 심판 등에 따라 변동될 수 있습니다.

사양

항목내용
FIB 칼럼
분해능 4 nm @ 30 kV, 60 nm @ 2 kV
가속전압 0.5~30 kV
빔 전류 0.05 pA ~ 100 nA
FE-SEM 칼럼
분해능 2.8 nm @ 5 kV, 3.5 nm @ 1 kV
가속전압 0.5~30 kV
전자총 냉음극 전계방출형
검출기
표준 검출기 In-lens SE검출기/Chamber SE 검출기/반사전자검출기
Stage X: 0 ~ 205 mm
Y: 0 ~ 205 mm
Z: 0 ~ 10 mm
R: 0 ~ 360° Endless
T: -5 ~ 60°

특별 부속품 (옵션)

  • Ar/Xe 이온 빔 시스템
  • Micro Sampling® *3 시스템
  • 결함 검사 장비와의 Linkage 소프트웨어
  • CAD Navigation Linkage 소프트웨어
  • EDS (에너지 분해형 X선 분석 장비)
  • TEM 시료 완성 가공 마법사
  • TEM 시료 두께 관리 소프트웨어
  • 연속 A-TEM
  • 실시간 화질 개선 시스템
  • Swing 가공 기능 (Triple Beamreg; *1용)
  • Plasma Cleaner
  • 대기 차단 반송 기구
  • 냉각 Stage

Applications(Global)

Hitachi FIB Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS

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