3차원 구조 해석의 이상을 추구했습니다
FIB에 의한 단면 제작과 SEM 관찰을 자동으로 반복함에 따라 연속 단면 시리즈 Image를 수집하여 특정 미소 부분을 3차원 구조로 재구축할 수 있습니다.
최적의 칼럼 레이아웃 채용으로 첨단 재료나 Device에서 생물 조직에 이르는 폭넓은 분야에 걸쳐 종래의 장비에서 어려웠던 높은 정밀도의 3차원 구조 해석을 실현합니다.
SEM 칼럼과 FIB 칼럼을 직각으로 배치함으로써 FIB 가공 단면의 수직 입사 SEM 관찰을 실현.
종래의 FIB-SEM의 경사 단면 관찰에서는 불가피했던 단면 SEM Image의 수축이나 연속 Image 수집 시의 시야 이탈을 회피.
본래의 구조에 충실한 화상을 안정적으로 얻을 수 있어 정밀도가 높은 3차원 구조 해석을 실현.
또, FIB 가공 단면 (SEM 관찰 단면) 이 시료 표면과 평행이 되므로 광학현미경 Image와의 연계 작업이 가능합니다.
시료: 쥐 뇌신경 세포
시료 제공: 자연과학 연구기구 생리학 연구소 쿠보타 요시유키 님
생물 조직 및 반도체부터 철강이나 니켈 등의 자성재료까지. 저가속 전압에서의 고분해능・높은 Contrast 관찰에 대응.
FIB 가공과 SEM 관찰 간, 장비 조건 변경도 불필요하며, 높은 Throughput으로 연속 단면 Image를 수집 가능.
시료: 니켈
SEM 가속 전압: 1 kV
가공 Step: 20 nm
반복 회수: 675회
단면 SEM Image뿐만 아니라 단면 원소 Map의 연속 시리즈 수집에도 대응.
실리콘 Drift식 대구경 입체각도 EDS 검출기*1와 조합하여 측정 시간의 단축・저가속 전압에서의 원소 Mapping도 가능
시료: 연료전지전극
SEM 가속전압: 5 kV
가공 Step: 100 nm
반복 회수: 212회
시료 제공: 도쿄대학 생산기술연구소 시카조노 나오키 교수
SEM・FIB・EBSD 검출기*1 최적의 배치를 통해 FIB 가공과 EBSE 분석 사이에 Stage를 이동할 필요 없이 3D-EBSD를 실현. Stage를 이동하지 않으므로 3차원 결정방위 해석의 정밀도・Throughput을 큰 폭으로 향상.
시료: 니켈
SEM 가속 전압: 20 kV
가공 Step: 150 nm
반복 회수: 150회
항목 | 내용 | |
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SEM | 전자원 | 냉음극 전계방출형 |
가속 전압 | 0.1 ~ 30 kV | |
분해능 | 2.1 nm@1 kV | |
1.6 nm@15 kV | ||
FIB | 이온원 | 칼륨 액체 금속 이온원 |
가속전압 | 0.5 ~ 30 kV | |
분해능 | 4.0 nm@30 kV | |
최대 빔 전류 | 100 nA | |
표준 검출기 | In-column 2차전자검출기/In-column 반사전자검출기/ Chamber 설치 2차전자검출기 |
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Stage | X | 0 ~ 20 mm *2 |
Y | 0 ~ 20 mm *2 | |
Z | 0 ~ 20 mm *2 | |
θ | 0 ~ 360° *2 | |
τ | -25 ~ 45° *2 | |
최대 시료 크기 | 각 모서리 6 mm×두께 2 mm |
Hitachi FIB Application Data
This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.