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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

초고분해능 전계방출형 주사 전자현미경 Regulus 시리즈

기존 모델 SU8240, SU8230, SU8220 그리고 SU8010을 새로운 플랫폼으로 통합하여, Regulu8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100으로 새롭게 태어났습니다.

「Regulus시리즈」는, SU8200시리즈에서 채용했던, 낮은 노이즈의 전자빔으로 안정된 조사전류를 제공하는 COLD FE 전자총을 탑재하여*1, 관찰・분석에 필요로 하는 능력을 계속해서 이어가고 있습니다.

관찰 성능은 광학계의 최적화를 통해, Regulus8240/8230/8220의 분해능은 1 kV에서 0.7 nm, Regulus8100에서는 0.8 nm.

또한, 초고분해능 관찰능력을 충분히 발휘하기 위하여, 기존 모델 100만배에서 Regulus 200만배로 배율이 2배 확장되었습니다*1
이외에도, 복잡한 신호검출기능에 대해 이해를 돕는 기능 등, 고성능 장비를 최대로 사용하시도록 유저 서포트 기능을 강화하였습니다.

*1
Regulus8240/8230/8220 한정

특징

  • 「SU8200시리즈」에서 채용한 COLD FE 전자총을 계승*2
  • Flashing 직후의 고휘도 안정영역을 사용함으로써, 저가속전압에서의 고분해능관찰과 분석의 양립
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV, Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • Contamination의 영향을 경감시킨 고진공 시료실을 탑재
  • Top필터기능(옵션)을 통한, 다양한 재료 Contrast의 가시화 기능*2

고분해능・초저조사전압(ULV) 관찰

高分解能・極低照射電圧観察
시료: 금증착입자
조사전압: 10 V

초고분해능관찰

초고분해능관찰
시료: 백금촉매
가속전압: 30 kV

고분해능・저에너지 EDX분석

고분해능・저에너지 EDX분석
시료: Sn 볼
가속전압: 1.5 kV

 
*2
Regulus8240/8230/8220 한정

사양

항목Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
2차전자 분해능 0.7 nm
(가속전압15 kV)
0.8 nm
(가속전압1 kV)*2
0.6 nm(가속전압 15 kV)
0.7 nm(조사전압 1 kV)*2
가속전압 0.5~30 kV
조준전압*3 0.1~2 kV 0.01~20 kV
배율 20~1,000,000배*3 20~2,000,000배*3
시료Stage시료Stage 3축 모터(5축 모터는 옵션) 5축 모터구동
가동범위X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
재현성 - - - ±0.5 µm이하
*2
Deceleration 모드에 의한 관찰
*3
127 mm x 95 mm를 표시 사이즈로서 배율을 규정

New coherent cold field emission source(Global)

Information on our new cold field emitter technology can be found here.

Applications(Global)

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