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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

주사전자현미경 S-3700N

가능한 한 큰 시료를, 가능한 한 그대로의 모습으로 관찰.
제조업이나 연구개발에 종사하는 많은 분들의 요청을 콘셉트로, 히타치는 직경 300 mm의 시료 탑재, 110 mm 두께의 시료 관찰을 가능하게 한 저진공 SEM을 개발했습니다.
정평이 난 전자광학계와 제어계, 새로운 설계의 대형 시료실과 대형 5축 모터 드라이브 Stage를 조합한 S-3700N이 대형 시료 관찰 분석의 새로운 기준을 제안합니다.

특징

주사전자현미경(SEM) 의 관찰 및 분석은 학술 연구뿐만이 아니라 다양한 산업에서도 더욱 폭넓은 분야로 확대되고 있으며, 관찰 및 분석의 대상이 되는 샘플은 많아지고 있습니다.
S-3700N은 이와 같이 폭넓은 Application에 대응하기 위하여 표준 구성으로 직경 300 mm, 높이 110 mm의 샘플을 탑재할 수 있는 샘플 Chamber를 갖추었으며, 2차전자검출기, 4분할+1소자의 반사전자(BSE)검출기, 저진공 모드가 장착되어 있습니다.
이에 따라, 종래의 SEM에서 요구되는 대전방지용 금속 코팅을 하지 않고도, 자연적인 표면상태에서 시료를 관찰할 수 있게 되었습니다.
또, 폭넓은 Application을 지원하는 EDX, WDX, EBSP, Chamber Scope, 냉각 Stage 등의 액세서리가 탑재 가능한 포트도 다수 준비되어 있습니다.

  • 최대 직경 300 mm 의 시료를 탑재 가능하며, EDX/WDX/EBSP*1을 동시 장착할 수 있는 대형 분석 시료실을 표준 탑재
  • 최대 직경 203 mm의 Wide Range 관찰은 물론, 110 mm 두께 시료의 관찰/EDX 분석을 가능하게 한 대형 5축모터 드라이브 Stage.
  • 모니터 전면에 고정밀도 라이브 Image를 표시할 수 있는 전면 표시 기능, 서로 다른 시료 정보를 동시에 표시할 수 있는 2화면 실시간 표시 기능 및 신호 믹싱 기능을 탑재
  • 기록물 시료의 무처리 관찰에 유효한 저진공 모드를 표준 장착
  • 시야 찾기에 유효한 고속 스캔이 가능한 신형 반도체 반사전자 검출기를 표준 탑재
  • 터보 분자 펌프의 채용을 통한 높은 Throughput / 공간 절약 / 절전*2을 실현
*1:
타사 제품 옵션
*2:
당사제품 대비

사양

항목내용
2차전자 Image 분해능 3.0 nm 보증 (고진공 모드) (30 kV)
반사전자 Image 분해능 4.0 nm 보증 (저진공 모드) (30 kV)
배율 5~300,000배
가속전압 0.3~30 kV
시료 StageX 0~150 mm
Y 0~110 mm
Z 5~65 mm
R 360°
T -20~90°
최대시료 크기 직경 300 mm
최대관찰가능범위 직경 203 mm (XYR 병용)
최대시료두께 110 mm (WD=10 mm)

관찰 사례

반도체

대형 Chamber에는 직경 300 mm의 시료를 탑재할 수 있습니다. 크기가 큰 절연물 시료를 증착 없이 직접 관찰・분석할 수 있습니다.

프린트 기판 상의 IC

시료: 프린트 기판 상의 IC

높이 110 mm까지의 시료를 탑재할 수 있어, 최적의 분석 위치에서 EDX 분석을 할 수 있습니다.

연마반

시료: 연마반

재료

저진공 BSE Image와 저진공 이차전자 Image의 병용을 통해 시료의 조성 정보와 미세 형상의 비교 관찰이 가능합니다.

형광재료

시료: 형광재료

유리섬유 복합재료

시료: 유리섬유 복합재료

생물

냉각 Stage를 사용하여 시료를 0~-20˚C의 저온으로 유지하고 함수량의 증발을 최소한으로 줄임으로써 생물재료, 식물, 식품 및 Emulsion 등의 관찰이 가능합니다.
시료를 변형시키지 않고 수십 분에서 수 시간 동안 관찰과 분석이 가능합니다.
냉각 Stage는 전자선에 민감한 시료 관찰에도 권장합니다.

상온

常温
관찰 개시 10분 후, 수분 증발에 의한 시료 수축이 나타납니다.

-20°C

-20°C
관찰 개시 10분 후, 수축이 거의 나타나지 않습니다.

시료: 매화 꽃잎

Applications(Global)

Hitachi SEM Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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