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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

주사전자현미경 SU3500

더욱 더 선명한 고화질로

고화질화를 통한 SEM 해석력 및 조작성 향상을 목적으로, 히타치 하이테크의 핵심 역량인 "장인의 기술"을 집결. "분해능 7nm@가속전압 3 kV"를 실현한 전자광학계, 라이브에 의한 스테레오 SEM Image 관찰을 실현한 「라이브 스테레오 관찰 기능」*1, 「고감도화를 실현한 UVD(고감도저진공검출기)」*1 등을 탑재한 SU3500이 관찰・분석의 새로운 기준을 제안합니다.

*1:
옵션

특징

SU3500 주사전자현미경은 혁신적인 전자광학계 및 신호검출 시스템을 갖추어 고화질 관찰과 높은 분석 성능을 제공합니다. 생물시료나 첨단재료를 포함한 폭넓은 Application을 위해 최적의 SEM 해석을 지원합니다.

  • 시료 겉표면의 미세 형상 관찰이나 시료 손상을 줄일 수 있는 저가속 전압 관찰 시의 분해능을 향상
  • 빠른 주사 속도로 노이즈가 적은 관찰을 실현한 새로운 설계의 전자광학계와 신호처리기술
  • 종래의 기종 대비*2 약 11초의 시간 단축*3을 실현한 고속 오토 기능
  • 저진공에서의 시료 겉표면 형상 관찰에 특화된 「UVD(고감도 저진공 검출기)」*4
  • 라이브에 의한 스테레오 SEM Image 관찰을 실현한 「라이브 스테레오 관찰 기능」*4
  • 저렴한 유지 비용, 연속 통전이 필요 없는 높은 경제성
*2:
히타치 SEM S-3400N 대비
*3:
시간은 관찰 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
*4:
옵션

저가속 전압 관찰 및 저진공 관찰 성능

최신 UVD 검출기와 조합된 히타치의 「Hex-Bias」 Probe 전류 최적화 기술은 저가속 전압 및 저진공 조건에서 뛰어난 표면 관찰을 가능하게 합니다.

Vinca (일일초)의 저진공 UVD Image
Vinca (일일초)의 저진공 UVD Image

사용된 실링 테이프의 저진공 UVD Image
사용된 실링 테이프의 저진공 UVD Image

라이브 스테레오 관찰 기능

경사 빔 스캔 기술로 SEM Image의 라이브 3D 관찰이 가능해집니다.

갑각류의 3D 라이브 Image
갑각류의 3D 라이브 Image

황동 파단면의 3D 라이브 Image
황동 파단면의 3D 라이브 Image

섬유의 3D 라이브 Image
섬유의 3D 라이브 Image

쥐 신장의 3D 라이브 Image
쥐 신장의 3D 라이브 Image
시료 제공: 기타사토 대학 의학부 네모토 노리코 박사

 

사양

항목내용
2차전자 Image 분해능 3.0 nm (가속전압 30 kV, WD=5 mm, 고진공 모드)
7.0 nm (가속전압 3 kV, WD=5 mm, 고진공 모드)
반사전자 Imgae 분해능 4.0 nm (가속전압 30 kV, WD=5 mm, 저진공 모드)
10.0 nm (가속전압 5 kV, WD=5 mm, 고진공 모드)
배율 ×5~ ×300,000 (사진배율*5)
×7~ ×800,000 (실표시배율*6)
가속전압 0.3~30 kV
저진공도설정 6~650 Pa
최대시료 크기 직경 200 mm
시료 StageX 0~100 mm
Y 0~50 mm
Z 5~65 mm
R 360°
T -20~90°
최대관찰가능범위 직경 130 mm (R 병용)
최대시료두께 80 mm (WD=10 mm)
모터 드라이브 5축 표준
전자광학계전자총 Precentered Cartridge Type
Tungsten Hairpin Filament
대물렌즈 조리개 4공가동조리개
검출계 2차전자 검출기
고감도 반도체 반사전자 검출기
EDX 분석 WD 10 mm (T.O.A=35°)
화상표시OS Windows®7 (OS는 변경될 수 있습니다)
화상표시 모드 대화면표시 모드 (1,280×960화소)
1화면표시 모드 (800×600화소)
2화면표시 모드 (800×600화소)
4화면표시 모드 (640×480화소)
신호 믹싱 기능
배기계방법 전자동 배기 (뉴매틱 밸브(Pneumatic Valve))
터보 분자 펌프 261 L/s. 1대
유회전 펌프 135 L/min. (162 L/min.) 1대 ( )는 60 Hz
*5:
127 mm×95 mm (4×5 사진 사이즈)를 표시 사이즈로 배율을 규정
*6:
345 mm×259 mm (1,280×960화소 표시)를 표시 사이즈로 배율을 규정

관찰 사례

반도체

PCB (Printed Circuit Board)의 단면

PCB (Printed Circuit Board)의 단면
가속전압: 5 kV
진공도: 30 Pa
배율: 150배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

PCB (Printed Circuit Board)의 단면
가속전압: 3 kV
진공도: 20 Pa
배율: 5,000×
신호: BSE, 금속 코팅 없음

재료

산화아연

산화아연
가속전압: 5 kV
배율: 30,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

산화 티탄 입자

산화 티탄 입자
가속전압: 3 kV
배율: 15,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음
시료 제공: 도호쿠 대학 카키하나 마사토 박사

타블릿 (과자류)

타블릿 (과자류)
가속전압: 1.5 kV
배율: 10,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음

수지화 중인 필러 (유리 섬유)

수지화 중인 필러 (유리 섬유)
가속전압: 1 kV
진공도: 50 Pa
배율: 1,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음

금 이소시안화물 착체

금 이소시안화물 착체
가속전압: 0.8 kV
배율: 2,100배
신호: SE, 금속 코팅 없음

점착 테이프 (늘임)

점착 테이프 (늘임)
가속전압: 3 kV
진공도: 30 Pa
배율: 10,000배
신호: UVD, 금속 코팅 없음

생물

Helicobacter bills

Helicobacter bills
가속전압: 2 kV
배율: 17,000배
신호: SE, OsO4 증착 실시
시료 제공: 아이치학원대학 카와무라 요시아키 박사

유산균

유산균
가속전압: 1 kV
배율: 10,000배
신호: SE, 이온액체처리

 

Applications(Global)

Hitachi SEM Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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