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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU7000

저가속전압에서의 높은 상질, 복수 신호 동시 취득에 덧붙여 광역 시야관찰, In-Situ 관찰 등 현재 FE-SEM 은 높은 능력과 많은 기능이 요구되고 있습니다.

SU7000은 다양화 되는 니즈에 있어 정보 취득 최대화를 목표로 만들어진 [새로운 SEM]입니다.

SU7000이 가져다 주는 세계를 체험해 보세요.

*
장치 사진은 옵션 장착 상태입니다.

특징

주요 컨셉

  1. 다채로운 Imaging 능력
    광시야 전체상에서 표면미세구조까지 SU7000은 다양한 신호를 신속하게 취득 하는걸 목표로 설계되었습니다.
    복수의 2차전자 신호, 반사전자 신호가 동시에 취득 가능하도록 디자인된 전자광학계/ 검출계는 보다 짧은 시간에 많은 정보를 유저에게 제공합니다.
  2. Multichannel Imaging
    Imaging 니즈의 증가에 따라 장착되는 검출기 수 도 증가하고 있기에 표시도 그것에 알맞는 기능이 필요하게 됩니다.
    SU7000에서는 최다 6채널의 신호를 동시 표시/ 보존이 가능합니다.
    취득 정보의 최대화를 강력히 어시스트 합니다.
  3. 다양한 시료형상, 관찰방법에 대응
    ・대형시료관찰
    ・저진공관찰
    ・Cryo 관찰
    ・즉시관찰
    등을 대응하기 위한 시료실과 진공계를 준비하여 다양한 관찰 방법에 대응합니다.
  4. Microanalysis
    Schottky Emitter탑재 전자총에 의한 최대 200nA 조사전류는 여유를 가지고 각종 Microanalysis 에 대응합니다.
    EDX를 시작으로 X선분석,EBSD, Cathode luminescence등을 예상한 시료실 형체 ,포트 레이아웃에 맞춰 분석 액세서리 조합의 다양화에 대비하고 있습니다.

Imaging 능력

정보 취득 최대화를 목표로한 검출계

시료와 요구되는 데이터 다양화에 따라, 많은 정보를 단시간에 파악하는 능력이 요구되어지고 있습니다.
SU7000의 검출계는 형상정보, 조성정보, 결정학적정보, 발광등의 신호를 취득하여 WD등의 조건변경을 최소화하는걸 목표로 하고 있습니다.
보다 빨리, 보다 많은 정보취득을 서포트 합니다.

동일 조건 관찰

시료: 유기물 피복 Gold rod

시료제공:Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

UD,MD,LD의 각 검출기에서의 동시 취득 데이터 사례 (가속전압:1 Kv)
UD에서는 표면 미세 형체, MD에서는 표면 유기물 피복 상태, LD에서는 관찰대상의 전체적인 요철 정보가 각각 동시에 취득 되고 있습니다.
한가지 조건하에 정보 취득 최대화를 목적으로 하였습니다.

Multichannel 표시 대응 GUI

신호 표시 기능을 강화

    Imaging장치로서 신호 표시를 크게 수정하였습니다.
  • 목적에 맞는 각도, 채널 수 선택의 자유를 확대.
  • 싱글 모니터로는 최대 4ch신호를 동시 표시 가능.
  • 시료실내을 표시하는 챔버스코프상이나, 시료의 카메라촬영화상을 넣은 내비게이션기능(SEM MAP)에 의한 이미지 내비게이션도 표시 가능.
  • 2nd 모니터를 사용할때는 1,280 x 960 화소수에 화상을 2ch 표시 가능. 한편 모니터를 신호 표시전용 화면으로써 최다 6ch 신호를 동시 표시 가능.

자유도가 높은 화면 레이아웃

싱글 모니터를 사용할때는 1,2,4 화면까지 표시가 가능하여 챔버스코프상과 홀더 화상/SEM MAP상도 표시가능합니다.
또한 오퍼레이션 패널은 임의 배치로 각 서브메뉴 패널이 표시 가능합니다.

듀얼 모니터 대응

1st 모니터를 화상 표시 전용, 2nd 모니터를 오퍼레이션 패널 표시 화면으로서 사용 가능합니다. 위의 그림 왼쪽 화면(1st 모니터)에서는 철강중의 비금속 개재물를 관찰한 사례입니다. UD,LD, UVD,MD,PD-BSED의 5개의 검출기상 그리고 SEM MAP 그림이 표시되어 있습니다. 오른쪽 2nd 모니터에는 오퍼레이션 패널 메뉴 와 화상 이력 윈도우를 한 화면으로 합쳐서 표시하고 SEM상, 조작 화면도 보기 쉬운 레이아웃으로 되었습니다.
상모니터링과 조작성의 양립을 서포트 합니다.

관찰/ 분석 방법 확장을 서포트

시료실과 스테이지


시료실 외관
18개의 액세서리 서포트 장비


스테이지 외관
XY축 가동거리는135 x 100 mm

시료실은 최대 φ 200 mm사이즈의 시료를 투입 가능 하며 높이도 최고 80mm 까지 투입 가능합니다. Draw out대응으로 액세서리 서포트는 18개 준비 되어 있습니다.
스테이지는 XY/135 x 100 mm의 대형 타입으로 중량도 최대 2kg까지 탑재 가능합니다.
대형 시료나 서브스테이지 탑재에 여유를 가지고 대응 가능합니다.

카메라 내비게이션 기능(*)

시료실 탑재 카메라로 시료를 촬영

      SEM MAP화면에 카메라 화상을 붙여 내비게이션

관찰 목적 장소의 신속한 접근을 서포트 하는 내비게이션용 카메라(*)를 탑재 하고 있습니다. 카메라 시료실에 장착되어 있어 시료 주입 후에 반자동적으로 시료전체상을 촬영합니다. 영상은 내비게이션 화면(SEM MAP) 윈도우에 붙여저 카메라 화상에 따른 위치 확인이 가능해졌습니다.
최대 100 mm 사이즈까지 대응하고 있습니다.

(*)
카메라는 옵션입니다.

역동적인 관찰대응 검출계

환경을 변화 시키는 관찰등, 역동적인 관찰 니즈를 서포트 합니다.
저진공 관찰에서는 PD-BSED(반사 전자 검출기) 이외에도 UVD, MD등 각종 검출기(**)가 선택 가능합니다.

저진공 조건에서의 검출기 선택
금속 산화물이 분산 된 섬유를 좌: MD(반사전자), 우:UVD(2차전자)로 관찰.
산화물의 분산상태와 섬유의 포개진 상태가 각각 관찰 되고 있습니다.

PD-BSED: 응답성 향상
왼쪽은 기존 응답 속도로 약 2초 주사한 화면으로 오른쪽은 상의 흐름이 억제되어 전체 상질이 큰폭으로 향상 되어 있습니다. 응답 속도의 향상으로 In-Situ관찰 가능성을 높였습니다.

(**)
PD-BSED, UVD는 옵션입니다.

사양

항목내용
보증분해능 2차전자 분해능 0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
배율 20~2,000,000 x
전자총 Emitter ZrO/W Schottky type Emitter
가속전압 0.1~30 kV(0.01 Kv Step)
조사전류 최대200 nA
검출기 표준검출기 UD(Upper 검출기)
MD(Middle 검출기)
LD(Lower 검출기)
옵션 검출기*1 PD-BSED(반도체 반사전자 검출기)
UVD(Ultra Variable Pressure 검출기)
저진공 모드*1 시료실 전압 범위 5~300 Pa
동작 가능 검출기 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
시료 스테이지 스테이지 제어 5축 모터 구동
이동 범위 X 0~135 mm
Y 0~100 mm
Z(WD) 1.5~40 mm
T(경사각) -5~70°
R(회전각) 360°
시료 사이즈 최대경 φ200 mm, 최고 높이:80 mm
모니터*1 23형 LCD(1,920×1,080), 2모니터 대응
화상표시 모드 대형 화면 표시 모드 1,280×960 화소표시
1화면 표시 모드 800×600 화소표시
2화면 표시 모드 800×600 화소표시、1,280×960 화소표시*2
4화면 표시 모드 640×480 화소표시
6화면 표시 모드*2 640×480 화소표시*2
화상 데이터 보존 보존 화상 사이즈 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
옵션 액세서리 에너지 분산형 X선 검출기(EDX)
파장 분산형X선 검출기(WDX)
후방 산란전자회절상 검출기(EBSD)
Cathode luminescence(CL)
Cryo Transfer System
각종 서브 스테이지
*1
은 옵션입니다.
*2
2모니터일 때 표시 가능합니다.

Installation Diagram

New coherent cold field emission source(Global)

Information on our new cold field emitter technology can be found here.

Applications(Global)

Hitachi FE-SEM Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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