世界を変えた FE電子顕微鏡- IEEEマイルストーン認定- 世界を変えた FE電子顕微鏡- IEEEマイルストーン認定-ENGLISH

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ヒストリー

年表で見る日立の電子顕微鏡の歩み

1939 学術振興会第37小委員会(現:日本顕微鏡学会)発足
1941 日立研究所でTEM試作1号機「HU-1」により写真撮影に成功
1942 国産初の商用TEM「HU-2*1」を名古屋帝国大学に納入
1948 TEM「HU-4」を北海道大学等に納入
1952 日製産業がTEMの国内販売を開始
1956 TEM「HU-9」(輸出1号機)をUCLAに納入
1957 ニューヨーク見本市に「HU-10」「HS-5」出展
1958 ブリュッセル万国博にて永久磁石を使用したTEM「HS-6」「HM-3」がグランプリ獲得
1961 那珂工場設立
国産初の商用EPMA*2 「XMA-4」納入
1964 中央研究所でSEMの研究を開始
1966 TEM 累計1,000台達成
1969 日立初の商用SEM「HSM-2」発売
1970 Albert V.Crewe博士よりFE技術導入
1971 最初のFE-SEM試作機「HFS-1」開発
1972 国産初の商用FE-SEM 「HFS-2」発売
2MV超高圧TEMを大阪大学に納入
1976 「電界放射形高分解能電子顕微鏡の開発」で大河内記念技術賞を受賞
1978 中央研究所が80kV FE-TEMを開発、0.062nmの格子分解能の達成と磁力線の観察に成功
1982 コンピューター制御のFE-SEM「S-800」発売
1983 100kV FE-TEM「H-600FE」を大阪大学に納入
1984 半導体デバイス用測長SEM「S-6000」発売
1985 超高分解能インレンズFE-SEM「UHS-T1」を鳥取大学に納入
1986 インレンズFE-SEM「S-900」発売
中央研究所が1982年の実験結果を裏付け「アハラノフ・ボーム効果」を完全実証
1988 半導体デバイス用外観寸法評価装置「S-7000」発売
1989 中央研究所が350kV FE-TEMを開発、0.055nmの格子分解能の達成と磁束量子の動的観察に成功
低加速超高分解能インレンズFE-SEM「S-900LV」を日本女子大学に納入
FE-SEM 累計1,000台達成
200kV FE-TEM「HF-2000」発売
1991 日立初の低真空SEM「S-2250N」発売
1992 セミインレンズFE-SEM「S-4500」発売
1994 測長SEM「S-8800」発売
1995 世界最高電圧3MV超高圧TEMを大阪大学に納入
200kV FE-SEM「ミラクルアイ HM-2000」が米国R&Dマガジン社よりR&D100受賞
1996 セミインレンズFE-SEM「S-4700」発売
測長SEM 累計1,000台達成
1998 超薄膜評価装置「HD-2000」発売
2000 基礎研究所が1MV超高圧FE-TEMを開発、0.0498nmの格子分解能の達成と高温超電導体の観察に成功
測長SEM「S-9300」発売
2001 ディフェクトレビューSEM「RS-3000」発売
2002 セミインレンズFE-SEM「S-4800」発売
2005 卓上顕微鏡「Miniscope TM-1000」発売
2006 測長SEM「CG4000」発売
球面収差補正器を搭載したFE-STEM*3 「HD-2700」発売
300kV FE-TEM「HF-3300」発売
2008 「半導体超微細パターン計測用測長SEMの開発と実用化」で大河内記念生産賞を受賞
セミインレンズFE-SEM「SU8000」発売
2010 ディフェクトレビューSEM「RS6000」発売
2011 インレンズFE-SEM「SU9000」発売
測長SEM「CG5000」発売
測長SEM 累計4,000台、FE-SEM 累計5,000台達成
2012 「電界放出形電子顕微鏡の実用化」がIEEE マイルストーン認定

*1 「HU-2」は国立科学博物館の「重要科学技術史資料(未来技術遺産)」へ登録、電気学会より「でんきの礎」受賞、名古屋大学博物館で展示
*2 EPMA:Electron Probe Micro Analyzer( 電子線マイクロアナライザー)
*3 FE-STEM:Field Emission-Scanning Transmission Electron Microscope( 電界放出形走査透過電子顕微鏡)