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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

2016年9月7日

日立ハイテクと日立ハイテクサイエンスでは、長年培ったノウハウを基に、SEMによる形状、組成、元素分析などと、AFMによる3D形状計測と力学物性情報や電磁気物性情報の同一箇所での手軽な解析評価を実現する、SEMとAFMのコラボレーションによる新たなソリューションをSÆmic(セイミック)と名付けご提案しています。
このたび、走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)最新ソリューションセミナーを開催いたします。
材料評価の専門家を講師にお招きし最新の事例をご紹介いただくとともに、当社からは “SÆmic”や最新技術情報についてご紹介いたします。また、外部講師の先生方や弊社の講演担当とのディスカッションや装置ご見学の機会を設け、気軽にAFMやSEMについてご相談いただける場を用意しております。
ぜひご参加いただきますよう、ご案内いたします。

開催概要

日時

2016年11月1日(火)

開催時間

13:00~17:45(受付開始:12:30~)

会場案内

かながわサイエンスパーク(KSP)KSPホール
神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1
KSPイノベーションセンタービル西棟3階

参加費

無料

定員

120名様
* 原則、先着順とさせていただきます。
 予めご了承をお願いいたします。

問い合わせ先

株式会社日立ハイテクサイエンス
営業管理部 セミナー担当
TEL:03-6280-0062

お申込み

【受付終了】2016年11月1日(火)第1回AFMソリューションセミナー(東京会場)

プログラム

プログラム
時間 内容/テーマ
13:00~13:10 開会の挨拶
13:10~14:00 高分子材料の表面物性評価事例のご紹介 ~SPMでのアプローチを中心に~
ナノスケールでの物性評価が得意なSPM(走査プローブ顕微鏡)技術を活用して、弊社では、これまでに高分子材料表面における様々な悩みを解決してきた。例えば、接着性および密着性不良、機能性向上のために改質処理をした表面の改質不良、成形不良、表面の劣化などの要因解析に展開してきた実績がある。本発表では、実際の活用事例および最近のトピックスを紹介する。

株式会社三井化学分析センター 材料物性研究部 生井 勝康
14:00~14:30 材料解析をサポートするAFM観察手法のご紹介 ~環境制御型AFM5300Eによる電気物性検証~
金属、半導体、パワーエレクトロニクス、有機エレクトロニクス材料、電子部品、電池材料、磁気デバイスなどの材料解析に有効な、AFMによる電流・電気抵抗・電位・電気容量・磁気などの物性観察法をご紹介します。環境制御型 AFM5300E を用いた大気中/乾燥窒素中/高真空中の電気物性比較事例などから環境制御による物性検証の有効性を説明します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ アプリケーション開発部 山岡 武博
14:30~14:50 SEM+AFM相関顕微鏡法 【SÆmic.】 のご紹介
弊社ではSEMとAFMの連携技術・アプリケーション開発を 【SÆmic.=Scanning Atomic and Electron Microscopy】と呼び推進しています。ここでは、そのコンセプトと応用事例をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ アプリケーション開発部 辻川 葉奈
14:50~15:10 コーヒーブレイク
15:10~16:00 環境制御型SPMを用いた材料評価 ~SIS物性モードを中心に~
弊社では2010年度に環境制御型SPMであるAFM5300E(旧E-Sweep)を導入した。AFM5300Eは環境制御以外に1台で多くのモードに対応しており、材料評価に活用している。講演当日はSIS(Sampling Intelligent Scan)電流モードを用いた電気物性評価やナノTA,走査型サーマル顕微鏡(SThM)の分析事例を紹介する。

株式会社日東分析センター 茨木分析センター 國年 弘二
16:00~16:20 測定の自動化を進化させた高精度中型ステージAFM5500Mと座標リンケージによる【SÆmic.】事例紹介
XY200 µmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPM ”AFM5500M”は、カンチレバーの装着・交換、光軸調整を自動化し、オペレーターの負担を大幅に軽減しました。また、座標リンケージによるSEM+AFM相関顕微鏡機能も搭載し、SEMとAFMとで試料の同一場所を簡単に測定できるようになりました。グラフェンやセラミックコンデンサに座標リンケージSEM+AFM相関顕微鏡法を適用した事例も紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ マーケティング部 水口 勝利
16:20~16:40 非破壊・非接触の高速計測・検査ツール 走査型白色干渉顕微鏡(CSI)のご紹介
非破壊・非接触で高速に表面形状計測ができるCSIを高分子フィルムやトライボロジー分野に適用した事例と、試料の表面を非接触で走査するだけで試料の層構造を計測できる層断面解析事例をご紹介します。また、SEMとCSIを連携した観察事例もご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ アプリケーション開発部 柳川 香織
16:40~17:00 材料解析をサポートするFE-SEM観察手法と雰囲気遮断による【SÆmic.】事例紹介
SEMは材料解析において、これまでの微細構造や組成・組織の観察に加え、3D情報取得や他の測定装置との複合解析にまでその役割が拡張されています。今回のセミナーでは弊社FE-SEMの特徴的な信号検出による観察事例や、シリアルブロックフェイスイメージングの応用事例、さらに雰囲気遮断でのリチウムイオン電池電極のイオンミリング加工、FE-SEM観察、AFM物性観察事例をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ アプリケーション開発部 重藤 訓志
17:00~17:40 装置見学
会場に準備した環境制御型 AFM5300E、高精度中型ステージ AFM5500Mはじめ、走査型白色干渉顕微鏡(CSI)、卓上顕微鏡 TM3030Plus等の実機をご見学いただきます。
17:40~17:45 閉会の挨拶

閉会後の講師ディスカッションおよびSEM/FIBなど電子顕微鏡見学希望のお客様へ

講演中の質疑応答だけではなく、外部講師の先生方や弊社の講演担当にご質問やご相談などご希望のある方々のために、開閉後、会場の敷地内にある弊社のラボラトリーにご案内させていただきます。 また、会場にて見学いただいた装置の他にも、SEM,TEM、FIB製品などラボラトリーにある製品も、ご希望の皆様にご見学いただけます。

  • * プログラムは都合により変更になる場合があります。

SEM+AFM相関顕微鏡法 “SÆmic.”

SÆmic.ロゴ

「SÆmic.(セイミック) 」とは、SEMによる形状、組成、元素分析などとAFMによる3D形状計測と力学物性情報や電磁気物性情報を同一箇所での手軽な解析評価を実現する、SEMとAFMのコラボレーションによる新たなソリューションです。