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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

2012年12月4日

株式会社日立ハイテクノロジーズ(東京都港区、執行役社長:久田 眞佐男/以下、日立ハイテク)と大日本スクリーン製造株式会社(京都市上京区、取締役社長:橋本 正博/以下、大日本スクリーン)は、半導体製造装置事業の持続的なお客様対応と新技術・アプリケーション開発を目的とした、日立ハイテクの検査・計測装置デモセンタ「Metrology and Inspection Center 彦根(以下、MIC彦根)」を、大日本スクリーン彦根地区事業所・プロセス技術センター(滋賀県彦根市)内に開設しました。

日立ハイテクはこれまで、主力製品である半導体検査・計測装置のお客様向けデモンストレーション・操作実習を、設計開発拠点である那珂地区(茨城県ひたちなか市)に隣接する、グローバルアプリケーションセンタ プロセス評価ラボラトリ(以下、GAC)で実施していました。

今回、新たに設置したMIC彦根は、GACからデモンストレーション・操作実習機能を一部移設するもので、2011年3月に発生した東日本大震災による被災経験から、非常時においても持続的なお客様対応を実現するとともに、両社のデモ環境の充実によるお客様の利便性向上を目的としています。

また、大日本スクリーンは、自社の有する洗浄・リソグラフィー分野の表面処理装置と日立ハイテクの半導体検査・計測装置との連携による相乗効果として、次世代の装置技術とアプリケーションの開発における付加価値の創出、および開発スピードの向上を目指します。

日立ハイテクと大日本スクリーンは、MIC彦根の設置を機に、半導体製造プロセスにおける技術革新により、半導体産業のさらなる発展に貢献します。

Metrology and Inspection Center 彦根(MIC彦根)の概要

Metrology and Inspection Center 彦根(MIC彦根)の概要
開設 2012年12月3日
住所 滋賀県彦根市高宮町480-1
大日本スクリーン製造株式会社 彦根地区事業所 プロセス技術センター内
設置製品 半導体検査・計測装置
延面積 約77平方メートル

大日本スクリーン彦根地区事業所 プロセス技術センター 外観
大日本スクリーン彦根地区事業所 プロセス技術センター 外観

MIC彦根 クリーンルーム
MIC彦根 クリーンルーム

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株式会社日立ハイテクノロジーズ
CSR本部 コーポレート・コミュニケーション部
担当:武内、松本
〒105-8717 東京都港区西新橋1-24-14
TEL: 03-3504-7760
大日本スクリーン製造株式会社
広報室
担当:島田、黒崎
〒602-8585 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1-1
TEL: 075-414-7131
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