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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

高分解能FEB測長装置 CS4800

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

「CS4800」は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMで、当社がこれまで培った最先端の計測技術を搭載することにより、二次電子分解能および計測再現精度を向上しています*1。また計測オペレーションを自動化することで、お客様の既存ラインの生産性向上に寄与します。さらに、簡易な切替え作業により、最大2種類のウェーハサイズの自動搬送が可能*2であるとともに、炭化ケイ素(SiC)や窒素ガリウム(GaN)などさまざまな材質に対応し、多品種量産の半導体デバイス生産に貢献いたします。

*1
当社従来機比
*2
組合せによってはできない場合があります

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 既存装置との置き換えおよび併用を考慮した装置寸法とGUI*3
  • 最先端装置開発で培った高精度計測技術および最新の計測アプリケーションを搭載
  • 光学軸調整作業の自動化により、オペレーターの熟練度による測長ばらつきを低減
  • 画像処理技術の向上によりレシピでの自動計測を実現し、スループットを向上
  • 4、6、8インチのマルチウェーハサイズに対応した新規ウェーハ搬送システム
*3
GUI(Graphic User Interface):コンピューターのグラフィックス表示とマウス等のポインティングデバイスを 使用したソフトウェアの操作体系

仕様

主な仕様
計測再現性 1nm(3σ)(当社標準ウェーハ・測定条件時)
対応ウェーハサイズ 直径 100mm, 150mm, 200mm
オートローダー 2ポート
装置寸法(本体部) 1180(W)× 2500(D)× 1990(H)mm

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