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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

日立ハイテクが長年蓄積した走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
以下のリストのデータをはじめとした、さまざまなアプリケーションデータは、弊社会員制情報検索サイト「S.I.navi(エスアイナビ)」でご提供しています。

  • :「S.I.navi」内の日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」でご提供しています。「S.I.navi」サイトで、ご使用製品に日立電子顕微鏡をご登録いただくと、「Semevolution」の閲覧が可能になります。
Data No. タイトル
STEM019
  • 使用装置:   走査透過電子顕微鏡 HD-2700
  • キーワード:STEM、暗視野、金属、転位、双晶、オーステナイトステンレス鋼、ADF-STEM像、SD-STEM像、BF-STEM像、二波励起、ウィークビーム
STEM017
  • 使用装置:   走査透過電子顕微鏡 HD-2700
  • キーワード:SEM、走査透過電子顕微鏡、STEM、球面収差補正、Csコレクタ、原子カラム、BF-STEM、ADF-STEM、Au、Si、BaTiO3
STEM016
STEM015
STEM010
  • 使用装置:   走査透過電子顕微鏡 HD-2700
  • キーワード:走査透過電子顕微鏡、STEM、6極子型球面収差補正器(Cs-corrector)、球面収差補正器、高角環状暗視野(HAADF: High Angle Annular Dark Field)STEM像、BF-STEM像、ドーパント元素分布、触媒粒子
STEM009
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2300
  • キーワード:STEM、高コントラスト、加速電圧120 kV、トナー、生物切片、Siデバイス
STEM008
ユーザー限定
  • 使用装置:   集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100
  •         超薄膜評価装置 HD-2300
  • キーワード:EDX、元素マップSTEM、FIB、マイクロサンプリング法、ドーパント
STEM007
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2300
  • キーワード:STEM、高温高分解能観察、SE像、その場観察、直接加熱、ナノ粒子
STEM006
ユーザー限定
  • 使用装置:   集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A
  •         超薄膜評価装置 HD-2000
  • キーワード:STEM、HAADF、Zコントラスト、FIB、マイクロサンプリング、EDX、化合物半導体
STEM005
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2000
  • キーワード:カーボンナノチューブ、多層ナノチューブ(multiwalled carbon nanotubes;MWNTs)、単層ナノチューブ(single-walled carbon nanotubes;SWNTs)、走査透過電子顕微鏡、直接加熱方式試料加熱ホルダ、明視野STEM像
STEM004
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2000
  •         Gatan Digital PEELS
  • キーワード:Siデバイス、STEM、EELS、Spectrum Imaging、Cold-FE
STEM003
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2000
  • キーワード:電子線回折像、明視野走査透過像、BF-STEM像検出器、暗視野走査透過像、DF-STEM像検出器、ナノ・プローブ電子線回折像、分解能指数、Siデバイス、セラミックス
STEM002
ユーザー限定
  • 使用装置:   集束イオンビーム加工観察装置 FB-2000A
  •         超薄膜評価装置 HD-2000
  • キーワード:GMR、FIB、フェーズコントラスト像、Zコントラスト像、高感度EDX分析、EDXマッピング、ライン分析
STEM001
ユーザー限定
  • 使用装置:   超薄膜評価装置 HD-2000
  • キーワード:触媒、二次電子、BF検出器、HAADF検出器、EDX検出器、明視野走査透過像、暗視野走査透過像、担体、格子像