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株式会社 日立ハイテクノロジーズ

集束イオンビーム【学会発表】

2010年

著者 題名 備考
清原正寛 FIB装置による加工と観察の新たな提案 平成21年度 マイクロ・ナノ融合加工技術研究会
第2回例会 イオンビームによる微細加工技術の動向

2009年

著者 題名 備考
清原正寛 集束イオンビーム装置
新製品SMI500の紹介
荷電粒子ビームの工業への応用 第132委員会
第187回研究会「先端ビームテクノロジー技術・製品紹介セミナー」
上本敦 FIB/SEMダブルビーム装置を用いたTEM試料自動加工の高精度化 第29回LSIテスティングシンポジウム
満欣 トリプルビームによるビームセンシティブ材料の試料作製と観察 第29回LSIテスティングシンポジウム

2008年

著者 題名 備考
鈴木秀和 トリプルビーム装置を用いた半導体デバイスの評価用試料作製技術 日本顕微鏡学会第64回学術講演会
酉川翔太 新型ダブル・トリプルビーム装置 NVision Duo/Trioの紹介 第28回LSIテスティングシンポジウム
近藤和茂 トリプルビーム装置を用いた試料作製技術 第28回LSIテスティングシンポジウム

2007年

著者 題名 備考
鈴木秀和 TEM観察用試料の高品位化へのアプローチ 第27回LSIテスティングシンポジウム
満欣 FIB-SEM複合装置 XVision200シリーズ 第27回LSIテスティングシンポジウム
山本洋 FIB/SEM複合装置を用いた高品位TEM試料作製技術の紹介 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 第175回委員会
高橋春男 トリプルビーム装置を用いたTEM試料作製技術 日本顕微鏡学会第63回学術講演会

2006年

著者 題名 備考
(株)ルネサステクノロジー:
吉田英二, 小山徹, 小守純子
SIIナノテクノロジー(株):
麻畑達也, 高橋春男, 中谷郁子
ダブルビームFIBによる3D電流像解析 LSIテスティングシンポジウム2006
山本洋 Automated High-Quality TEM sample preparation Microscopy & Microanalysis '06
高橋春男 TEM Sample Preparation by Using Ga-FIB/Ar-Ion Beam/SEM Triple Beam Machine 第16回 国際電子顕微鏡学会議(IMC-16)
山本洋 Automated High-Quality TEM Sample Preparation 第16回 国際電子顕微鏡学会議(IMC-16)
山本洋 FIB/SEMダブルビーム装置を用いた高品位TEM試料自動作製技術 LSIテスティングシンポジウム 2006
柳原佐知子 新型ダブルビーム装置Xvisionシリーズの紹介 LSIテスティングシンポジウム 2006
藤井利昭 Nano Patterning Technology in Foucused Ion Beam Application SNDT2006
藤井利昭 3D Structure Fabrication by FIB Milling and Deposition 2006 MRS Fall Meeting
八坂行人 FIBおよびその複合装置による 断面およびTEM試料の作製と観察 技術情報協会セミナー

2004年

著者 題名 備考
SIIナノテクノロジー(株):
完山正林, 神田健, 山本洋, 岩崎浩二, 八坂行人
(株) 松下テクノリサーチ:
為藤さよ子, 岡野哲之, 神前隆, 薮内康文
集束イオンビームを用いた低ダメージ試料の作成 LSIテスティングシンポジウム2004
(株)ルネサステクノロジー:
田中知浩, 小山徹, 村田直文, 小守純子, 益子洋治
SIIナノテクノロジー(株):
高橋春男, 鈴木秀和
ダブルビームFIBによる断面EBIC解析 LSIテスティングシンポジウム2004
S. Sadayama, Y. Sugiyama, K. Iwasaki, A. Yasaka Post thinning technique lifted-out samples 8th Asia-Pacific Conference on Electron Microscopy
中谷郁子 FIB+SEM複合装置SMI3000SEシリーズの紹介とその応用 分析展2004
SII NanoTechnology:
T. Fujii, K. Iwasaki, M. Munekane, T. Takeuchi, M. Hasuda
SII:
T. Kogure, Y. Kijima
Nano Factory by Focused Ion Beam IWMF (International Workshop on Microfactory) 2004
T. Fujii Nano Factory by Focused Ion Beam EFUG2004
T. Fujii Automatic TEM SamplePreparation System, ATEM EFUG2004

2003年

著者 題名 備考
鈴木秀和, 岩崎浩二, 一宮豊, 八坂行人, 足立達哉 FIB装置SMIシリーズの自動TEM試料作成機能 LSIテスティングシンポジウム2003
小川貴志, 長谷川正夫, 森田成司, 鈴木秀和, 完山正林, 大井将道, 高橋春男, 杉山安彦, 岩崎浩二, 八坂行人 高性能集束イオンビーム装置の開発とその応用 日本学術振興会
荷電粒子ビームの工業への応用132委員会
皆藤孝 集束イオンビームによる立体ナノ構造形成 JMAトップダウン型ナノテクノロジーシンポジウム Session 3

2002年

著者 題名 備考
完山正林, 中谷郁子, 山本洋, 麻畑達也, 大井将道, 岩崎浩二, 松村浩, 一宮豊, 八坂行人, 足立達哉 FIB装置SMI2000シリーズの完全自動化オプションの紹介 LSIテスティングシンポジウム2002
Y. Yamamoto, S. Sadayama, K. Iwasaki, K. Aita, A. Yasaka, T. Adachi FIB application for nano-scale analysis sample preparation 分析展 2002
日韓先端技術交流セミナー
(株)松下テクノリサーチ:
稲里幸子, 薮内康文, 為藤さよ子
SIIナノテクノロジー(株)
完山正林, 山本洋, 岩崎浩二, 杉山安彦
SIM像観察装置およびSEM用前処理装置としてのFIBの限界と新たな可能性 日本顕微鏡学会
(株)松下テクノリサーチ:
為藤さよ子, 岡野哲之, 稲里幸子, 薮内康文
SIIナノテクノロジー(株)
完山正林, 山本洋, 岩崎浩二, 杉山安彦
ダメージ低減を目指した化合物半導体のFIB加工法 日本顕微鏡学会
皆藤孝 FIB-CVDを用いた極微細三次元構造体形成技術 日本顕微鏡学会・学振132
完山正林, 山本洋, 大井将道, 岩崎浩二, 相田和男, 八坂行人, 足立達哉 FIB装置の最新技術紹介-TEM試料作製を中心としたナノ精度加工への応用- 日本顕微鏡学会
完山正林, 山本洋, 大井将道, 岩崎浩二, 八坂行人, 足立達哉 最新FIB装置の紹介-TEM試料作製を中心としたナノ精度加工への応用- 日本顕微鏡学会
分析電子顕微鏡分科会討論会
山本洋 追加工可能なピックアップ法 セミコンジャパン2002
皆藤孝 FIB装置を用いたDLCナノ成形技術 ニューダイヤモンドフォーラム 第2回研究会 講演
皆藤孝 ナノ域で加工/観察する顕微鏡 第36回化学懇談会「未来科学への布石」
(株)松下テクノリサーチ:
岡野哲之, 為藤さよ子, 薮内康文
SIIナノテクノロジー(株):
完山正林, 山本洋, 岩崎浩二
Lift-Out法とマイクロサンプリング法の比較 日本顕微鏡学会
岩崎浩二 FIBの最近の応用例 分析展 2002
皆藤孝 集束イオンビーム装置によるナノ加工と観察 科学技術者フォーラムセミナー
  モニタリングSEM機能付高性能走査イオン顕微鏡SMI2000MS2シリーズの紹介  

2001年

著者 題名 備考
山本洋, 完山正林, 西村哲司, 篠崎孝二, 野口明芳, 大井将道, 岩崎浩二, 澤良木宏, 藤井利昭, 一宮豊, 井上充, 足立達哉 モニタリングSEM機能付高性能走査イオン顕微鏡SMI2000MSシリーズの紹介 LSIテスティングシンポジウム2001
皆藤孝 FIB装置とその応用~FIB-CVD法による三次元構造形成技術~ 機能性材料の3次元微細加工技術研究会
皆藤孝 FIB-CVD法による三次元構造形成技術 第33回CVD研究会(平成13年度夏季セミナー)講演
皆藤孝 FIB-CVD法による三次元 2001年秋季応用物理学会 第62回応用物理学会学術講演会「量子ビームが開く原子レベルの固体表面反応・解析」シンポジウム、13p-G-7 (2001)
皆藤孝 集束イオンビーム(FIB)応用の最前線 長野県「超精密金型研究会」第三回講演
岩崎浩二 FIB応用における in-situ 観察 材料科学 2001

2000年

著者 題名 備考
麻畑達也, 西村哲司, 篠崎孝二, 岩崎浩二, 一宮豊, 藤井利昭, 足立達哉 高性能走査イオン顕微鏡 SMI2050の紹介 LSIテスティングシンポジウム2000
NEC、姫路工業大学、セイコーインスツルメンツ 任意の立体ナノ構造形成技術-世界最小のナノワイングラスを作製- プレスリリース

1997年

著者 題名 備考
T. Kaito INCIDENT ANGLE DEPENDENCE ON THIN FILM MILLING USING 30 keV Ga FOCUSED ION BEAM FIB日米セミナー
足立達哉, 杉山安彦, 岩崎浩二 FIBの表面分析への応用 141委員会 1997 マイクロビームアナリシス第141委員会 装置化ワーキンググループ研究会 (1997)

集束イオンビーム【論文】

2009年

論文 備考
藤井利昭、山本洋、鈴木秀和 "FIB-SEM-ArB複合装置「トリプルビーム」", 電子材料(工業調査会), 3月号(2009) トリプルビームを用いた低ダメージのデポジションによる最新アプリケーションを紹介。
SPIEポスター発表 2009年2月 Bart Rijpers, Jo Finders: ASML, Imaging Systems Development, Veldhoven, The Netherlands Hidekazu Suzuki, Toshiaki Fujii: SII Nanotechnology, Tokyo, Japan Yuichiro Yamazaki, Hideaki Abe: Toshiba Corporation, Process & Manufacturing Engineering Center, Yokohama, Japan Fabian Perez-Willard: Carl Zeiss Nano Technology Systems GmbH, Oberkochen, Germany "Use of 3D Metrology for Process Control" トリプルビームを用いた低ダメージのデポジションによる最新アプリケーションを紹介。

2008年

論文 備考
高橋春男, "トリプルビーム装置を用いたTEM試料作製", 顕微鏡 Vol. 43, No.2(2008) トリプルビーム装置を用いたTEM試料作製の有効性を半導体デバイスの実例を用いて紹介。

2007年

論文 備考
Toshiaki Fujii, Tatsuya Asahata, Takashi Kaito "Focused Ion Beam Systems Basics and Applications" Edited by Nan Yao Chapter 14 "Focused ion beam systems as a multifunctional tool for nanotechnology" Cambridge University Press 集束イオンビーム(FIB)技術を用いて、精密加工や三次元構造物製作などをする際の基礎的な技術情報についての解説、および各種応用例の紹介。
八坂行人、藤井利昭 「最新微小異物分析技術」 第1章11節 FIBを使った試料前処理、観察のポイント 技術情報協会 FIB、SEM、TEMを用いた断面観察をするための試料作製方法を解説。特に、格子像観察などを行うための高品位TEM試料作製に用いられる最新技術を紹介。
Toshiaki Fujii, Koji Iwasaki, Masanao Munekane, Yo Yamamoto, Toshitada Takeuchi, Masakatsu Hasuda, Yutaka Ikku, Hiromi Tashiro, Tatsuya Asahata, Masahiro Kiyohara, and Takashi Kaito "3D Structure Fabrication by FIB Milling and Deposition" Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. 983 2007 Materials Research Society FIBと軸ぶれの少ない高精度回転ステージを組み合わせた「ナノ旋盤」を用いた三次元構造物や、ベクター・スキャンを用いた微細精密形状作製例の報告。
鈴木秀和, "FIB-SEMダブルビーム装置/FIB-SEM-Arトリプルビーム装置「XVisionシリーズ」", 電子材料(工業調査会),3月号(2007) SIIナノテク社とCZ社は、FIB-SEMダブルビーム装置・FIB-SEM-Arトリプルビーム装置の「XVision シリーズ」を共同で開発した。本稿では加工性能・観察分解能を向上した「XVisionシリーズ」の全容を紹介。

2006年

論文 備考
高橋春男, "高品質TEM試料作製トリプルビーム装置「SMI3000TBシリーズ」", 電子材料(工業調査会),2月号(2006) SIIナノテク社は高品位のTEM試料を簡便に作製できる、トリプルビーム装置「SMI3000TBシリーズ」の機能・性能に関しての紹介。

2005年

論文 備考
Toshiaki Fujii1, Koji Iwasaki1, Masanao Munekane1, Toshitada Takeuchi1, Masakatsu Hasuda1, Tatsuya Asahata1, Masahiro Kiyohara1, Toshiharu Kogure2, Yukimitsu Kijima2 and Takashi Kaito1 "A nanofactory by focused ion beam" J. Micromech. Microeng. 15 (2005) S286-S291 INSTITUTE OF PHYSICS PUBLISHING 軸ぶれの少ない高精度回転ステージを開発した。それを用いて、試料を回転しながらエッチング加工を行うことより、多様な材質の試料を、「旋盤」と同様の方法で加工できることについての報告。
藤井利昭, "集束イオンビームを用いたナノテク関連技術の最新成果", 電子材料 2005年2月号 pp.53-55  

2004年

論文 備考
藤井利昭, "試料作成時のダメージを抑制できるFIB装置「SMI3000SEシリーズ」", 電子材料2004年6月号  
K. Watanabe, T. Morita, R.Kometani, T. Hoshino, K. Kondo, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima, and S. Matsui, "Nanoimprint using three-dimensional microlens mold made by focused-ion-beam chemical vapor deposition", J. Vac. Sci. Technol. B 22(1),Jan /Feb 2004, 22-26  
Reo Kometani, Takahiko Morita, Keiichiro Watanabe, Takayuki Hoshino, Kazushige Kondo, Kazuhiro Kanda, Yuichi Haruyama, Takashi Kaito, Jun-ichi Fujita, Masahiko Ishida, Yukinori Ochiai and S. Matsui, "Nanomanipuretor and actuator fabrication on grass capillary by focused-ion-beam chemical vapor deposition", J. Vac. Sci. Technol. B 22(1),Jan /Feb 2004, 257-263  
S. Sadayama, Y. Sugiyama, K. Iwasaki, A. Yasaka, "Post-thinning technique for a lifted-out membrane", Journal of electron microscopy Volume53 2004 number5 493-496  

2003年

論文 備考
M. Ishida, J. Fuijita, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui, "Focused ion beam-induced fabrication of tungsten structures", J. Vac. Sci. Technol. B 21(6),Nov/Dec 2003, 2728-2731  
T. Hoshino, K. Watanabe,  R. Kometani, T. Morita, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, and S. Matsui, "Development of three-dimensional pattern-generation system for focused-ion-baem chemical-vapor deposition", J. Vac. Sci. Technol. B 21(6),Nov/Dec 2003, 2732-2736  
Takehiko Morita, Reo Kometani, Keiichiro Watanabe, Kazuhiro, Kanda, Yuici Haruyama, Takayuki Hoshino, Kazushige Kondo, Takashi Kaito, Toshinari Ichihashi, Jun-ichi Fujita, Yukinori Ochiai, Tsutomu Tajima, and Shinji Matsui, "Free-space-wiring fabrication in nano-space by focused-ion-beam chemical vapor deposition", J. Vac. Sci. Technol. B 21(6),Nov/Dec 2003, 2737-2741  
J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui, "Carbon nonopillar laterally grown with electron beam-induced chemical vapor deposition ", J. Vac. Sci. Technol. B 21(6),Nov/Dec 2003, 2990-22993  
皆藤孝, "集束イオンビームの電子デバイスプロセスへの応用", J. Vac. Soc. Jpn.(真空)Vol.46, No.2, p.81-86 (2003)  
岩崎浩二, "FIB装置の紹介", UYEMURA TECHNICAL REPORTS, No.54 (2003)  

2000年

論文 備考
T. Morita, K. Watanabe, R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima, S. Matsui, "Three-Dimensional Nanoimprint Mold Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition", Jpn. J. Appl. Phys Vol.42, Part 1, No.6B, p.3874-3876 (2003) LSIテスティングシンポジウム2000  
R. Kometani, T. Morita, K. Watanabe, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, S. Matsui, "Nozzle-Nanostructure Fabrication on Glass Capillary by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition and Etching", Jpn. J. Appl. Phys Vol.42, Part 1, No.6B, p.4107-4110 (2003) LSIテスティングシンポジウム2000