CAD Navigation System NASFA (Navigation System of Failure Analysis)
CAD Navigation System(CAD-Navi)를 사용하면 SEM 또는 FIB에서 관찰 중인 LSI의 배선이 CAD 데이터의 어느 배선에 대응하는지를 확인할 수 있습니다.
CAD 데이터 상의 좌표 위치를 지정함에 따라 장비의 Stage가 그 좌표와 연동하여 대응하는 위치의 SEM Image(FIB의 경우 SIM Image)를 표시합니다.
또한 CAD 데이터와 SEM Image를 겹쳐서 표시(Overlay 표시)할 수 있으므로 하층 배선의 위치 확인이 용이하여 해석 작업의 효율을 큰 폭으로 상승시킬 수 있습니다.
시스템 구성 예시
FE-SEM/FIB 장비와 CAD Navigation (CAD-Navi) 의 시스템 예시
FIB
S-4800
Hitachi FIB Application Data
This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.
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