3次元像で高さ、粗さを測定可能。
4分割反射電子検出器を使用することで試料の傾斜等を行うことなく、3次元像を構築、高さ、粗さを測定できます。
製造元：デジタルサーフ社
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
Hitachi map 3D は日立の4分割反射電子検出器で取得した信号を用いて4方向の表面形状を計算するため、試料傾斜、視野位置合わせを行うことなく3次元モデルの構築が可能なソフトウェアです。
試料：太陽電池
任意の場所から断面・表面を抽出し、高さ測定や断面上での2点間計測が可能です。
試料：パウダースプレー
試料：パウダースプレー
試料：ねじ
試料：めっき金属の比較
試料：星の砂
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| インポート機能 | 4素子画像データ自動選択・読み込み機能 |
| 測定性能 | 深さ精度±20％以下（参考値） キャリブレーション、試料および観察条件に依存 |
| 検出可能角度±60°以下（参考値） TM4000用±50°以下（参考値） |
|
| 測定機能 | ISO、JIS規格に準拠した計測が可能 |
| 任意の場所で断面プロファイル表示 | |
| 2点間のX、Y、長さ、角度など各種情報表示、表面積・体積測定 | |
| 断面プロファイル上での2点間のX、Y、Z、長さ他各種測定 | |
| 簡易表面粗さ(線粗さ、面粗さ）計測 | |
| ベースライン補正機能(直線、曲線)、レベリング他各種校正 | |
| 等高線、鳥瞰図表示 | |
| レイアウト、テンプレート機能 | |
| 複数枚画像の合成 | |
| 輪郭解析 | |
| 光学顕微鏡・SPM像重ね合わせ | |
| ステレオ像での３次元構築 | |
| 疑似カラー表示 | |
| 3次元表示機能 | 回転、ズーム、各種レンダリング処理 |
| 表示履歴動画記録機能 | |
| 出力機能 | レポート/画像: PDF、RTF/ PNG、JPG、GIF、TIF、BMP、EMF |
| 3次元像/動画: SUR、3MF、STL、WRL、TXT、X3D/ WMV、AVI |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定方式 | 反射電子検出器の４素子画像データ自動取得 |
| キャプチャ画素数 | 640×480、1,280×960 |
| データ取り込み時間 （走査速度） |
10～320ｓ/素子 |
| 測定機能 | ヒストグラム表示による明るさ確認機能 |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 対応OS | Windows®７以降 |
| プロセッサ | クアッドコアプロセッサ |
| メモリ | 8GB以上 |
| グラフィックボード | OpenGL 2.0またはDirect 3D 9.0C |
| HDD | 800MB以上 |
| USBポート | ×1必要 |
Hitachi map 3D シリーズの基本機能
試料：破損したボールベアリングの外輪
試料：高機能フィルム
試料：消しゴム
Hitachi map 3D Standardは3次元分析に有効な機能を有しています
試料：合成された太陽電池
試料：高機能フィルム
試料：合金
試料：六角ナットおよびねじ
Hitachi map 3Dは従来分からなかった高さの形状が確認できます。
観察信号：反射電子像 試料:半導体割断面
倍率：1,000倍
観察信号：反射電子像 試料:コネクタ不良面
倍率：1,200倍
観察信号：反射電子像 試料:太陽電池
倍率：2,000倍
観察信号：反射電子像 試料:マイクロレンズ
倍率：2,000倍
観察信号：反射電子像 試料:ゆで卵の黄身
倍率：200倍
観察信号：反射電子像 試料:トンボの複眼
倍率：1,000倍
観察信号：反射電子像 試料:毛髪
倍率：1,000倍
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