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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

Hitachi map 3D

3次元像で高さ、粗さを測定可能。

4分割反射電子検出器を使用することで試料の傾斜等を行うことなく、3次元像を構築、高さ、粗さを測定できます。

  • レポート画面上で直接編集。
    任意のレイアウトに変更可能です。
  • 2点間の高さ寸法計測、表面積や体積計測、
    簡易表面粗さ(面粗さ、線粗さ)などの測定ができます。
  • 計測したワークフローはレポート上に表示され確認・出力できる為トレーサビリティが確立できます。

製造元:デジタルサーフ社
取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長

3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3Dの概要

Hitachi map 3D は日立の4分割反射電子検出器で取得した信号を用いて4方向の表面形状を計算するため、試料傾斜、視野位置合わせを行うことなく3次元モデルの構築が可能なソフトウェアです。


試料:太陽電池

自由度の高いプロファイル計測

任意の場所から断面・表面を抽出し、高さ測定や断面上での2点間計測が可能です。

任意の場所で断面プロファイル表示
画面上の領域から縦・横・斜めと任意の測定場所を選択できます。
画面上の測定場所を移動させると、計測結果がリニアに変化します。

  • 抽出した断面の高さ・角度計測


試料:パウダースプレー

  • 断面・平面データ上で2点間の距離・高さを計測


試料:パウダースプレー

高精細な3次元像表示

  • 豊富な3次元レンダリング処理と
    スムーズな動画表示

試料:ねじ

様々な計測・レポート機能

ISOに準拠した面粗さ、線粗さの計測が可能
レポートレイアウト上で工程・作業前後の比較表示ができます。


試料:めっき金属の比較

各種フォーマットに対応した出力形式

  • レポートデータはWord対応形式、PDF形式などで出力可能
  • 3次元構築データはtxt形式、3Dプリンタ対応形式などに対応


試料:星の砂

詳細なヘルプ機能と多言語対応

  • 粗さに関する数式まで記載されたヘルプ機能
  • オペレーションは11言語に対応

仕様

製品取扱ラインアップ

  • Hitachi map 3D Light
  • Hitachi map 3D Standard
項目内容
インポート機能 4素子画像データ自動選択・読み込み機能
測定性能 深さ精度±20%以下(参考値)
キャリブレーション、試料および観察条件に依存
検出可能角度±60°以下(参考値)
TM4000用±50°以下(参考値)
測定機能 ISO、JIS規格に準拠した計測が可能
任意の場所で断面プロファイル表示
2点間のX、Y、長さ、角度など各種情報表示、表面積・体積測定
断面プロファイル上での2点間のX、Y、Z、長さ他各種測定
簡易表面粗さ(線粗さ、面粗さ)計測
ベースライン補正機能(直線、曲線)、レベリング他各種校正
等高線、鳥瞰図表示
レイアウト、テンプレート機能
複数枚画像の合成
輪郭解析
光学顕微鏡・SPM像重ね合わせ
ステレオ像での3次元構築
疑似カラー表示
3次元表示機能 回転、ズーム、各種レンダリング処理
表示履歴動画記録機能
出力機能 レポート/画像: PDF、RTF/ PNG、JPG、GIF、TIF、BMP、EMF
3次元像/動画: SUR、3MF、STL、WRL、TXT、X3D/ WMV、AVI

キャプチャ機能仕様

項目内容
測定方式 反射電子検出器の4素子画像データ自動取得
キャプチャ画素数 640×480、1,280×960
データ取り込み時間
(走査速度)
10~320s/素子
測定機能 ヒストグラム表示による明るさ確認機能

PC動作環境

項目内容
対応OS Windows®7以降
プロセッサ クアッドコアプロセッサ
メモリ 8GB以上
グラフィックボード OpenGL 2.0またはDirect 3D 9.0C
HDD 800MB以上
USBポート ×1必要
*
Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における商標または登録商標です。

観察例 1

Hitachi map 3D シリーズの基本機能

鳥瞰図表示

  • 試料表面の状態を3次元の様々な方向から観察可能


試料:破損したボールベアリングの外輪

等高線表示

  • 等高線表示による高さ情報を持つ2次元画像表示


試料:高機能フィルム

疑似カラー表示

  • 取得したSEM像を任意の色に編集可能


試料:消しゴム

観察例 2

Hitachi map 3D Standardは3次元分析に有効な機能を有しています

3D Stitch

  • 複数の連なった3次元データから一つの広領域データを合成


試料:合成された太陽電池

輪郭解析

  • 抽出した領域・断面の角度、直径などを計測可能


試料:高機能フィルム

ステレオ画像からの3次元構築

  • 試料を傾斜させて取得した2枚のSEM像(SE像、BSE像)から3次元像を構築可能


試料:合金

光学顕微鏡・SPM像重ね合わせ

  • SPM、CCD像の上にSEMやTOPO像を重ねて同時表示


試料:六角ナットおよびねじ

3Dギャラリー

2次元ではわからない形状が、3次元では見えてきます。

Hitachi map 3Dは従来分からなかった高さの形状が確認できます。

電子部品

観察信号:反射電子像 試料:半導体割断面
倍率:1,000倍

観察信号:反射電子像 試料:コネクタ不良面
倍率:1,200倍

材料

観察信号:反射電子像 試料:太陽電池
倍率:2,000倍

観察信号:反射電子像 試料:マイクロレンズ
倍率:2,000倍

バイオ

観察信号:反射電子像 試料:ゆで卵の黄身
倍率:200倍

観察信号:反射電子像 試料:トンボの複眼
倍率:1,000倍

観察信号:反射電子像 試料:毛髪
倍率:1,000倍

 

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