電子顕微鏡（SEM/TEM/STEM）

輝度の高い電界放出形の電子銃を搭載することで、熱電子銃を用いる汎用SEMに比べて電子線を細く絞ることができ、より高い分解能が得られます。また、低加速電圧でも鮮明な像が得られるため、試料最表面の微細構造観察にも適しています。対象試料・解析目的に応じて、電子銃・レンズタイプを選択できます。

熱電子銃(タングステンフィラメント)を搭載しており、比較的大きな試料まで観察することができます。また、低真空モードを利用することで、非導電性試料の無蒸着観察やガスが出やすい試料、少量の水分・油分を含む試料の観察にも対応できます。試料サイズ・解析目的に応じて、コンパクトモデルから大型試料室対応機まで幅広いラインナップを用意しています。

光学顕微鏡並みの手軽さで、誰もがより身近にミクロの世界を体験できる、卓上電子顕微鏡です。低真空観察に対応することで、導電性の無い試料でも前処理無しに、迅速に観察が行えます。

TEM/STEMでは、対象試料に応じて、適切な加速電圧の装置が用いられます。金属・セラミックスなどの無機材料には、透過能・分解能で有利な300kV/200kVの装置が、高分子・生物組織には高いコントラストが得られる120KVの装置が利用されています。また、ナノエリア解析など、より高い分析能力が求められる場合には、電界放出形電子銃や球面収差補正器が威力を発揮します。

半導体デバイスの電気特性評価・電子ビーム吸収電流(EBAC)解析に最適化されたされた、SEM式プロービングシステムです。高輝度電界放出形電子銃を用いた高分解能SEM観察により、直感的で高精度な探針操作を実現しています。

AMICS (The Advanced Mineral Identification and Characterization Syste) は、SEMベースの自動鉱物単体分離システムです。AMICSソフトウエアをSEM・EDXに組み合わせることで、鉱石中に含まれる鉱物成分をサブグレインレベルまで精密に分離・定量することが可能となり、Mineral Liberation Analyzer(MLA)として運用できます。

半導体デバイスの微細化は、驚くべき速度で進んでいます。また、近年の技術の進歩により、デバイスの構造は原子レベルで制御することも可能になっています。この中で、電子顕微鏡は、短いターンアラウンドタイムで高分解能観察を実現し半導体製造解析の現場では欠かせない技術となっています。電子顕微鏡は、パッケージ品から原子レベルで制御されたゲート構造の詳細まで、非常に広い範囲をカバーし、あらゆるものの評価に利用されています。
日立ハイテクは、半導体デバイスの開発・製造・不良解析・品質保証に用いられる、最先端のインライン、および、オフラインの解析装置を提供しています。電子顕微鏡についても、世界トップレベルのFE-SEM、FIB-SEM、TEMを含む、幅広い製品をラインアップしています。

人類の歴史を通して、材料は文明の発達に非常に重要な役割を果たしてきました。また、マテリアルサイエンスは、日常生活用品から宇宙に関するものまで、すべてに影響をもたらしています。 材料の形態・組成・物理特性・動的挙動の評価を可能とする電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡は、その発明以来、マテリアルサイエンスに重要な貢献をしてきました。製品品質管理や新素材の開発にも欠かすことができません。 日立ハイテクでは、簡単操作の卓上SEM、高精度解析のためのFE-SEM/TEM、3D解析にも対応するFIB-SEM、表面トポグラフィーの同時計測が可能なAFMを含む、幅広いラインアップを提供しています。

ライフサイエンスの多くの分野で、電子顕微鏡は、ウイルスの発見・感染予防・オルガネラ構造の解明・新薬開発・食品安全を含む、さまざまな貢献をしてきました。具体的には、分子生物学、細胞生物学、微生物学、植物学、臨床病理学、薬理学、毒物学などの分野で利用されています。
また、細胞構造とその機能、生体分子やタンパクの超構造、三次元構造の研究にも利用されています。
日立ハイテクは、細胞内部構造研究のために超薄切片を用いるTEMや三次元構造観察のためのSEMやFIB-SEMなど、ライフサイエンスアプリケーションのための最先端のツールを提供しています。