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電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)のラインアップをご紹介します。

製品一覧

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU9000II

日立FE-SEMの最上位機種である前モデルに、高輝度電子銃と低収差レンズなどの基本性能の改善を積み重ね、世界最高分解能*1 0.4 nm(加速電圧:30 kV)、低エネルギー条件でも0.7 nm(照射電圧:1.0 kV/オプション)の分解能を新たに達成しました。STEMに加えてEELSの測定にも対応できます。加えて、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
*2023年4月現在

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超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU8700

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU8600

SU8600 は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 高輝度コールドFE電子銃と検出信号制御機能により、高コントラスト像を高い分解能で提供します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。

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超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000

複数の二次電子信号と反射電子信号の同時取得で、多様な信号を迅速に取得。 最多6チャンネルの信号同時表示・保存がイメージング能力を最大化します。 大型試料室や低真空対応機能により、FE-SEMに求められる多様な観察ニーズに応えます。 さらに、ショットキーエミッター搭載の電子銃により照射電流は最大200 nAまで到達可能。マイクロアナリシスや、将来の分析手法の多様化・拡張にも備えます。

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ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000

SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。 また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡
SU3900/SU3800SE Series

SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル(2タイプ2グレード)をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。

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光-電子相関顕微鏡法(CLEM)用システム MirrorCLEM

MirrorCLEMは、光学顕微鏡と走査電子顕微鏡による同一箇所の観察を容易にするCLEM用システムです。

「ACATによりスライドガラス上に載せた約6 0 枚の切片群全体をSEMで撮影し、デジタルカメラ画像に重ね合わせた 画像」

連続切片自動撮像機能 Auto Capture for Array Tomography (ACAT)

ACATは連続切片それぞれの同一領域を自動的に画像取得するシステムです。 デジタルカメラなどの光学画像とSEM像から切片の位置を登録し、低倍SEM像から各切片の同一視野を指定して画像を自動取得します。

関連情報

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
リストの一部はこちらからご覧いただけます。

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。