走査電子顕微鏡（SEM）

半導体の微細化や先端材料の開発には、ナノレベルでの形態観察が不可⽋です。⽇⽴ハイテクは、サブナノメートル分解能を保証するSEMの開発に取り組んできました。
新製品の「SU9600」は、従来機^＊1から継承した0.4 nm（30 kV）の世界最⾼分解能^＊2と、⾼い安定性と⾼スループット性能により、次世代材料の研究‧評価を⼒強く⽀援します。

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。

SU8600 は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 高輝度コールドFE電子銃と検出信号制御機能により、高コントラスト像を高い分解能で提供します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。

複数の二次電子信号と反射電子信号の同時取得で、多様な信号を迅速に取得。 最多6チャンネルの信号同時表示・保存がイメージング能力を最大化します。 大型試料室や低真空対応機能により、FE-SEMに求められる多様な観察ニーズに応えます。 さらに、ショットキーエミッター搭載の電子銃により照射電流は最大200 nAまで到達可能。マイクロアナリシスや、将来の分析手法の多様化・拡張にも備えます。

SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル（2タイプ2グレード）をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。

SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。 また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。

卓上設置も可能なコンパクトサイズながら4.0nmの分解能を実現した、熱電子銃搭載SEMです。標準装備の低真空モードにより、導電性が不十分な試料でも、帯電防止用の金属コーティング無しに、迅速な観察が可能です。低真空下での試料最表面形状観察に優れたUVD(高感度低真空検出器)も選択可能です。

シリーズ累計5,800台を突破したMiniscope^🄬から新たなラインアップが誕生しました。
自動化と安定稼働の支援機能を搭載し、研究・開発のみならず、製造現場の品質管理、学校の理科教育の場でお客さまの観察業務の効率化を支援いたします。