走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）関連消耗品

試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性／機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。

取扱会社：株式会社日立ハイテクフィールディング

お問い合わせ

センサー内蔵型レバーの販売についてのご案内

カンチレバー（走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）用）

表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバーカンチレバーサンプルセット電磁気物性モードの推奨カンチレバー 10本組カンチレバー(汎用Si系カンチレバー) その他カンチレバー操作ガイド　～カンチレバーの特性～

カンチレバー呼び寸法

DFM用マイクロカンチレバー

SI-DF40、SI-DF20などはDFMの標準推奨品です。
SI-DF40P2など末尾が『P2』のタイプは探針がカンチレバーの先端に取り付けられており、測定箇所の位置合わせに便利です。

[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXX) ］

SI-DF40、SI-DF20、SI-DF3 など
種類	バネ定数 K(N/m)	共振周波数 f0 ( kHz)	長さL (µm)
SI-DF40	42	250～390	125
SI-DF20	15	110～150	225
SI-DF3	1.6	23～31	450

[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXXP2) ］

SI-DF40P2、SI-DF20P2、SI-DF3P2 など
種類	バネ定数 K(N/m)	共振周波数 f0 ( kHz)	長さL (µm)
SI-DF40P2	26	200～400	160
SI-DF20P2	9	100～200	200
SI-DF3P2	2	50～90	240

※SPA-400にはセットできないタイプがあり、改造が必要です。

[ DFM用カンチレバーの形状］ ( SI-DF40,20,3 )

カンチレバーの販売に関するお知らせ

表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバー

測定モード：AFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SN-AF03	Au	－	0.32 0.08	67 17	10	3.5	100 200	13.5 28	0.5	－
CFE-0063	大気中・液中AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。									30本／組
SI-AF01	Al	－	0.2	10～17	10	12.5	450	50	2	○
K-A102001560										30本／組

測定モード：DFM(Phase)

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF20(背面ALコート)	Al	－	15	110～150	10	12.5	225	33	5	○
K-A102002771	DFM標準推奨品。									30本／組
SI-DF40(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	10	12.5	125	30	4	○
K-A102002760	DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。									30本／組
SI-DF20P2(*1)	Al	－	9	100～200	7	14	200	40	3.5	○
K-W10200459	DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1)									30本／組
SI-DF40P2(*1)	Al	－	26	200～400	7	14	160	40	3.7	○
K-W10200456	DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1)									30本／組
SI-DF3P2(*1)	Al	－	2	50～90	7	14	240	40	2.3	○
K-W10200481	レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。 SPA-400にはセットできない場合があります。(*1)									30本／組
SI-DF20Plus(背面ALコート)	Al	－	15	110～150	7	12.5	225	33	5	○
K-W10200366	SI-DF20よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。									10本／組
SI-DF40Plus(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	7	12.5	125	30	4	○
K-W10200365	SI-DF40よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。									10本／組
SI-DF3(*2)	Al	－	1.6	23～31	10	12.5	450	55	4	○
K-A102001593	液中DFM標準推奨品。									30本／組
SI-DF3FM	Al	－	2.8	60～90	7	12.5	225	28	3	○
K-W10200367	高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。DF3P2タイプよりも静電気に強い。									10本／組
SI-DF20S(背面ALコート)	Al	－	15	110～150	2～5	12.5	225	33	5	○
K-A102002731	高分解能測定用、スーパーシャープ探針。									10本／組
SI-DF40S(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	2～5	12.5	125	30	4	○
K-A102002742	高分解能測定用、スーパーシャープ探針。									10本／組
SI-DF40H(傾斜補正10:1)	Al	－	42	250～390	15	12.5	125	30	4	○
K-W10200303	ハイアスペクト探針(アスペクト比1:10)。補正角13°。高さ1.5 µmでφ150 nm以下、先端開き角＜6°。80度程度の急峻側面に有効。									10本／組
SI-DF40H(傾斜補正5:1)	Al	－	42	250～390	15	12.5	125	30	4	○
K-W10200368	ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。補正角13°。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10°。80度程度の急峻側面に有効。									10本／組
SI-DF40H(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	15	12.5	125	30	4	○
K-W10200282	ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10°。80度程度の急峻側面に有効									10本／組
センサー内蔵型	なし	－	40	300～500	20(*1)	8	120	50	－	－
レバーPRC-DF40P	なし	－	40	300～500	20(*1)	8	120	50	－	－
K-U001354500	レバー最先端部にTipを取付けたTip View型のセンサー内蔵型DFMカンチレバー (光てこ系不要)専用カンチレバーホルダー必要。									10本／組
SI-AF01-A	Al	Au	0.2	10～17	30～50	12.5	450	50	2	－
K-A102001571										30本／組

測定モード：FFMLM-FFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-AF01	Al	－	0.2	10～17	10	12.5	450	50	2	○
K-A102001560										30本／組
SI-DF3(*2)	Al	－	1.6	23～31	10	12.5	450	55	4	○
K-A102001593										30本／組

測定モード：VE-AFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-AF01-A	Al	Au	0.2	10～17	30～50	12.5	450	50	2	○
K-A102001571										30本／組
SI-DF3-A(*2)	Al	Au	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	○
K-A102001582										30本／組
SI-AF01	Al	－	0.2	10～17	10	12.5	450	50	2	○
K-A102001560										30本／組

測定モード：VE-DFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3(*2)	Al	－	1.6	23～31	10	12.5	450	55	4	○
K-A102001593	硬い試料へはバネ定数の大きいDFMレバー使用も可。									30本／組

測定モード：アドヒージョン

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3(*2)	Al	－	1.6	23～31	10	12.5	450	55	4	○
K-A102001593	吸着が強い試料はSI-DF20も可。SI-DF3-Aも可。									30本／組

測定モード：ヤング率測定

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-FC40(400 nm)	なし	－	42	250～390	400	12.5	125	30	4	－
K-U002350500	フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア用。									10本／組

カンチレバーサンプルセット

セット名	型番	品目コード	セット内容
DFM形状測定セット	SPL-DF	K-W10200732	DFM形状測定セット　SI-DF3P2 / SI-DF20P2 / SI-DF40P2　各10本のセット ※SPA400の一部カンチレバーホルダーは使用できない場合があります
AFM/DFM 電気物性測定セット	SPL-MLT(L)	K-W10200848	AFM / DFM / 電気物性測定セット SI-AF01 / SI-DF40P2 / SI-DF3R(両面) 各10本のセット　AFM5400L対応
電気物性測定セット	SPL-EP	K-W10200733	電気物性測定セット SI-AF01-A / SI-DF3-R / SI-DF20-R　各10本のセット ※機械物性に関してはコート無でも測定可能です。対応可能な測定モードにつきましてはお問合せください。

電磁気物性モードの推奨カンチレバー

測定モード：Nano/Pico Current AFM 電流同時AFM測定

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-R(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102002995	電流測定標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF3-R両面(*2)	Rh	Rh	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	○
K-A102002951	SPA-500/L-trace用推奨品。SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。									10本／組
SI-DF3-R(100 nm)(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	50～	12.5	450	55	4	○
K-A102003731	Rhを100 nm厚コート金属コートの耐久性が必要な測定に有効。									30本／組
SI-DF20-R(100 nm)	Al	Rh	15	110～150	50～	12.5	225	33	5	○
K-A102003720	比較的硬い試料向き、試料に押し付けての電流測定。									30本／組
SI-AF01-A	Al	Au	0.2	10～17	30～50	12.5	450	50	2	－
K-A102001571	比較的軟らかい試料向き。SI-AF01にAuコート(膜厚70 nm)。									30本／組
SI-AF01-A両面	Au	Au	0.2	10～17	30～	12.5	450	50	2	○
K-A102002640	SI-AF01に両面Auコート(膜厚70 nm)。									10本／組
SI-DF3-A(*2)	Al	Au	1.6	23～31	30	12.5	450	55	4	－
K-A102001582	SI-DF3にAuコート (膜厚70 nm)。									30本／組
SI-DF3-A両面(*2)	Au	Au	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	○
K-A102002651	SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。									10本／組

測定モード：KFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-A(*2)	Al	Au	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102001582	KFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。									30本／組
SI-DF3-A両面(*2)	Au	Au	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	○
K-A102002651	SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。									10本／組
SI-DF3-R(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102002995	KFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF3-R両面(*2)	Rh	Rh	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	○
K-A102002951	SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。									10本／組

測定モード：SSRM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF40-CD(CDT-NCHR-10)	Al	ダイヤモンド	80	225～610	100～	12.5	125	30	4	○
U00097083000	SSRM用標準推奨品。SI-DF40にBドープダイヤモンドコート。									10本／組
SI-DF40-R (100 nm)	Al	Rh	42	250～390	50～	12.5	125	30	4	○
K-A102003715	SI-DF40にRh(100 nm厚)コート。									30本／組
SI-DF3-R(100 nm)	Al	Rh	1.6	23～31	50～	12.5	450	55	4	○
K-A102003731	SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。									30本／組

測定モード：SNDM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF20-R両面	Rh	Rh	15	110～150	30～	12.5	225	33	5	－
K-A102003742										10本／組
SI-DF40-R両面	Rh	Rh	42	250～390	30～	12.5	125	30	4	－
K-W10200364										10本／組
SI-DF3-R両面	Rh	Rh	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	－
K-A102002951										10本／組
両面Rhコート(膜厚30 nm)。レバーホルダーの構造上、導通をレバー背面からとっているため、両面とも導電性が大きいカンチレバーを推奨。SI-DF20-Rなどでも使用は可能。

測定モード：SNDMⅡ

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-R(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102002995	EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF20-R	Al	Rh	15	110～150	30～50	12.5	225	33	5	－
K-A102003502	探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF40-R	Al	Rh	42	250～390	30～50	12.5	125	30	4	－
K-A102003611	探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。									30本／組

測定モード：圧電応答

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-R(100 nm)	Al	Rh	1.6	23～31	50～	12.5	450	55	4	○
K-A102003731	圧電応答標準推奨品。SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。									30本／組
SI-DF3-R	Al	Rh	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102002995	SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF20-R(100 nm)	Al	Rh	15	110～150	50～	12.5	225	33	5	○
K-A102003720	SI-DF20にRh(100 nm厚)コート。									30本／組

測定モード：EFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-R(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102002995	EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF3-A(*2)	Al	Au	1.6	23～31	30～50	12.5	450	55	4	－
K-A102001582	EFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。									30本／組
SI-DF40-R両面	Rh	Rh	42	250～390	30～	12.5	125	30	4	○
K-W10200364	EFM用真空測定推奨品。SI-DF40にRhコート(膜厚30 nm)。									10本／組

測定モード：MFM

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-MF3	Al	磁性体コート	1.5	23～31	35	12.5	450	55	4	○
K-A102001675	SI-DF3に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。									10本／組
SI-MF20	Al	磁性体コート	15	110～150	35	12.5	225	33	5	○
K-A102001680	MFM標準推奨品、SI-DF20に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。									10本／組
SI-MF40	Al	磁性体コート	42	250～390	35	12.5	125	30	4	－
K-A102001691	真空中測定用、SI-DF40に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。									10本／組
SI-MF40LM	Al	磁性体コート	42	250～390	15	12.5	125	30	4	－
K-A102004800	低モーメント探針、真空中高分解能測定用。CoPtCrコート膜厚24 nm、着磁なし。									10本／組
SI-MF3N	Al	磁性体コート	2.8	60～90	～50	12.5	225	28	3	－
U00065766300	探針磁性体コーティング。									10本／組
SI-MF40(着磁なし)	Al	磁性体コート	42	250～390	50～60	12.5	125	30	4	－
K-A102004822	探針磁性体コーティング(CoPtCr 膜厚80 nm)。									10本／組
SI-MF3-LM	Al	磁性体コート	1.6	23～31	50～60	12.5	450	55	4	○
K-W10200320	低モーメント探針(CoPtCrコート膜厚24 nm)着磁なし。									10本／組
SI-MF20-LM	Al	磁性体コート	15	110～150	100～	12.5	225	33	5	○
K-W10200285	低モーメント探針(CoPtCrコート膜厚24 nm)着磁なし。									10本／組

10本組カンチレバー(汎用Si系カンチレバー)

測定モード：DFM

測定モード	型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
測定モード	品目コード	用途・内容									数量
DFM	SI-DF3(*2)	Al	－	1.6	23～31	10	12.5	450	55	4	○
	K-W10200630	液中DFM標準推奨品。推奨カンチレバーホルダー(マルチホルダー、KFMホルダー)。									10本／組
	SI-DF20(背面Alコート)	Al	－	15	110～150	10	12.5	225	33	5	○
	K-W10200646	DFM標準推奨品。									10本／組
	SI-DF40(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	10	12.5	125	30	4	○
	K-W10200645	DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。									10本／組
	SI-DF3P2(*1)	Al	－	2	50～90	7	14	240	40	2.3	○
	K-W10200643	レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。 SPA-400にはセットできない場合があります。									10本／組
	SI-DF20P2(*1)	Al	－	9	100～200	7	14	200	40	3.5	○
	K-W10200641	DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。									10本／組
	SI-DF40P2(*1)	Al	－	26	200～400	7	14	160	40	3.7	○
	K-W10200640	DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。									10本／組

測定モード：AFM電気物性測定用

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF3-R(*2)	Al	Rh	1.6	23～31	30～	12.5	450	55	4	－
K-W10200633	SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。									10本／組

その他カンチレバー

測定モード：DFM用

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-DF20	なし	－	15	110～150	10	12.5	225	33	5	○
K-A102001604	DFM用。									30本／組
SI-DF40	なし	－	42	250～390	10	12.5	125	30	4	○
K-A102001615	DFM用。									30本／組
SI-DF20S	なし	－	15	110～150	2～5	12.5	225	33	5	○
K-A102001631	DFM用スーパーシャープ探針。									10本／組
SI-DF40S	なし	－	42	250～390	2～5	12.5	125	30	4	○
K-A102001642	DFM用スーパーシャープ探針。									10本／組
SI-DF40H	なし	－	42	250～390	10	12.5	125	30	4	○
U00065768500	ハイアスペクト探針(アスペクトﾄ比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10°。80度程度の急峻側面に有効取付角±7°。									10本／組
SI-DF40H(背面ALコート)	Al	－	42	250～390	10	12.5	125	30	4	○
K-W10200282	ハイアスペクト探針(アスペクトﾄ比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10°。80度程度の急峻側面に有効取付角±7°。									10本／組

測定モード：電気物性機械物性測定用

型番	背面コート	探針先端コート	K (N/m)	F (kHz)	R (nm)	D (µm)	L (µm)	W (µm)	T (µm)	SPA500 L-trace対応
品目コード	用途・内容									数量
SI-AF01-Pt	PtIr5	PtIr5	0.2	10～17	25	12.5	450	50	2	－
K-A102003235	探針PtIr5コーティング。									20本／組
SI-AF01-R両面	Rh	Rh	0.2	10～17	30～	12.5	450	50	2	○
K-A102002962	探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。									10本／組
SI-DF3-R両面(*2)(100 nm)	Rh	Rh	1.6	23～31	50～	12.5	450	55	4	○
K-A102003911	探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。									10本／組
SI-DF3-R両面(*2)(300 nm)	Rh	Rh	1.6	23～31	100～	12.5	450	55	4	○
K-A102003775	探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。									10本／組
SI-DF3-R両面(*2)(60 nm)	Rh	Rh	1.6	23～31	40～	12.5	450	55	4	○
K-A102004844	探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。									10本／組
SI-DF20-A	Al	Au	15	110～150	30～50	12.5	225	33	5	－
K-A102001664	探針金コーティング(膜厚70 nm)。									30本／組
SI-DF20-R	Al	Rh	15	110～150	30～50	12.5	225	33	5	－
K-A102003502	探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF20-R両面(100 nm)	Rh	Rh	15	110～150	50～	12.5	225	33	5	○
K-A102003704	探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。									10本／組
SI-DF20-R両面(300 nm)	Rh	Rh	15	110～150	100～	12.5	225	33	5	○
K-A102003884	探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。									10本／組
SI-DF20-R両面(60 nm)	Rh	Rh	15	110～150	40～	12.5	225	33	5	○
K-A102004833	探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。									10本／組
SI-DF40-R	Al	Rh	42	250～390	30～50	12.5	125	30	4	－
K-A102003611	探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。									30本／組
SI-DF40-R(100 nm)	Al	Rh	42	250～390	50～	12.5	125	30	4	○
K-A102003715	探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。									30本／組
SI-DF40-R(300 nm)	Al	Rh	42	250～390	100～	12.5	125	30	4	○
K-A102004855	探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。									30本／組
SI-DF40-R 両面(300 nm)	Al	Rh	42	250～390	100～	12.5	125	30	4	○
K-A102005204	探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。									10本／組
SI-DF3D(*2)	Al	ダイヤモンド	1.6	23～31	100～	12.5	450	55	4	○
U00065814600	探針ダイヤモンドコーティング。									10本／組

操作ガイド　～カンチレバーの特性～

AFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、453Kバイト)※準備中です。
DFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、413Kバイト)※準備中です。

(全カンチレバー)　バネ定数K(N/m)は、設計値となります。

*1 SI-DF3P2、SI-DF20P2、SI-DF40P2について・・・
SPA400のワイヤータイプでないDFMホルダーには、セットできないものがあります。使用するためにはホルダーの改造が必要です。
(費用については、弊社サービス担当にご連絡ください。サービス受付電話番号0120-513-522)

*2 小型AFMのお客様はSI-DF3系レバーを使用の際は、マルチホルダかKFMホルダを推奨しております。

(注意)AFM5500M、L-traceWIDE、L-traceII、L-trace、SPA500系のユニットは、

窒化シリコン製カンチレバー(SN－で始まるカンチレバー)は取り付けることができません。
シリコン製カンチレバー(SI－で始まるカンチレバー)をお使いください。
AFM5500M、L-trace、SPA500系のユニットで電気物性測定を行う場合は、両面金属コートや膜厚100 nm以上のものをお使いください。
SI-DF40－で始まるカンチレバーを推奨します。

標準試料・試料台（走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）用）

標準試料試料台

標準試料

名称	HOPG標準試料		校正用スタンダード試料 STS3-1000P	校正用レファレンス試料 STR3-1000P	校正用レファレンス試料 STR10-1000P
コード	GBB-0017	CFE-0505	GCB-0038	GCB-0023	CFE-0510
数量	1式	4個/組	1式	1式	1式
内容	試料サイズ 12 mm角	試料サイズ 5 mm角セット	段差1000Å	段差1000Å	段差1000Å
名称	AFM校正用パターン試料	マイカ標準試料	傾斜評価用標準サンプル	探針評価サンプル	ゲルパック
コード	K-Y10200180	GBB-0007	GCN-0018	GBB-0079	CFE-0511
数量	1個	1個	1個	1個	5個/組
名称	PMMAヤング率測定標準サンプル
コード	GAA-0966
数量	20枚/式

試料台

名称	試料台(磁石取付に対応)Niメッキ		シャーレステージ(液中用)大型試料台付
コード	GCB-0098	GCB-0078	GAA-0223	GAA-0224
数量	10枚/組	10枚/組	1式	1式
内容	試料サイズ 20 mm径用	試料サイズ 30 mm径用	ステージ+樹脂製2個	ステージ+ガラス製2個
名称	インパクトステージセット	ウエハー用断面測定用試料台	E-sweep用※ 標準試料台	E-sweep用※ 磁石試料台
コード	K-YSPI936D017	GCB-0075	GCB-0031	CFE-0513
数量	1式	1式	3個/式	1式
内容	試料台とスライダー2個
名称	E-sweep用※ 加熱冷却試料板	雰囲気遮断試料ホルダ(平面用)	雰囲気遮断試料ホルダ(断面用)	雰囲気遮断マスク (断面用)
コード	CFE-0514	K-W10200749	K-W10200748	K-W10200739
数量	1組	1式	1式	5枚/組
内容	10 mmX10 mmX0.5 mm銅製5枚	雰囲気遮断試料搬送ユニットの構成部材です。 ※図1参照
名称	ゲルプレート	ゲル台
コード	AHS-0654	U00062376600
数量	2個/組	1個
内容	AFM5500M用	AFM5400L用