走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）関連 消耗品
試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性／機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
カンチレバー（走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）用）
カンチレバー呼び寸法
DFM用マイクロカンチレバー
SI-DF40、SI-DF20などはDFMの標準推奨品です。
SI-DF40P2など末尾が『P2』のタイプは探針がカンチレバーの先端に取り付けられており、測定箇所の位置合わせに便利です。
［シリコン製DFM用カンチレバー（SI-DFXX）］
| 種類 | バネ定数 K(N/m) | 共振周波数 f0 ( kHz) | 長さL (µm) |
|---|---|---|---|
| SI-DF40 | 42 | 250～390 | 125 |
| SI-DF20 | 15 | 110～150 | 225 |
| SI-DF3 | 1.6 | 23～31 | 450 |
※全カンチレバー：バネ定数K(N/m)は、設計値となります。
［シリコン製DFM用カンチレバー（SI-DFXXP2）］
| 種類 | バネ定数 K(N/m) |
共振周波数 f0 ( kHz) |
長さL (µm) |
|---|---|---|---|
| SI-DF40P2 | 26 | 200～400 | 160 |
| SI-DF20P2 | 9 | 100～200 | 200 |
| SI-DF3P2 | 2 | 50～90 | 240 |
※全カンチレバー：バネ定数K(N/m)は、設計値となります。
［DFM用カンチレバーの形状］（SI-DF40,20,3）
(注意)AFM5500Mシリーズ、LAFM5400Lシリーズのユニットは、窒化シリコン製カンチレバー(SN－で始まるカンチレバー)を、取り付けることができません。
価格については、弊社サービス担当にご連絡ください。
サービス受付電話番号0120-203-813
表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバー
測定モード：AFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSN-AF03 Cantilever SN-AF03 30pcs |
Au | － | 0.32 0.08 |
67 17 |
10 | 3.5 | 100 200 |
13.5 28 |
0.5 | 30本／組 |
| CFE-0063 | 大気中・液中AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-AF01(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-AF01(Al) 30pcs |
Al | － | 0.2 | 10～17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | 30本／組 |
| GCB-0112 | 大気中・液中AFM標準推奨品。 | |||||||||
測定モード：DFM(Phase)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3(Al) 30pcs |
Al | － | 1.6 | 23～31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0115 | 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。液中DFMに有効。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20(Al) 30pcs |
Al | － | 15 | 110～150 | 10 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | 30本／組 |
| GCB-0133 | DFM標準推奨品。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF40(Al) 30pcs |
Al | － | 42 | 250～390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0132 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3P2(Al) 30pcs |
Al | － | 2 | 50～90 | 7 | 14 | 240 | 40 | 2.3 | 30本／組 |
| GCB-0041 | 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20P2(Al) 30pcs |
Al | － | 9 | 100～200 | 7 | 14 | 200 | 40 | 3.5 | 30本／組 |
| GCB-0042 | DFM標準推奨品。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF40P2(Al) 30pcs |
Al | － | 26 | 200～400 | 7 | 14 | 160 | 40 | 3.7 | 30本／組 |
| GCB-0134 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20S(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20S(Al) 10pcs |
Al | － | 15 | 110～150 | 2～5 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | 10本／組 |
| GCB-0017 | 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40S(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF40S(Al) 10pcs |
Al | － | 42 | 250～390 | 2～5 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| GCB-0018 | 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40H(背面Alｺｰﾄ) (傾斜補正10:1) Cantilever SI-DF40H(tilt 10:1)(Al) 10pcs |
Al | － | 42 | 250～390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| GCB-0004 | ハイアスペクト探針（アスペクト比1:10）。補正角13°高さ1.5 µmでφ150 nm以下、先端開き角＜6° 80度程度の急峻側面に有効。 |
|||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40H(背面Alｺｰﾄ) (傾斜補正5:1) Cantilever SI-DF40H(tilt 5:1)(Al) 10pcs |
Al | － | 42 | 250～390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| GCB-0019 | ハイアスペクト探針（アスペクト比1:5）。補正角13°高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10° 80度程度の急峻側面に有効。 |
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| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40H(背面Alｺｰﾄ) (傾斜補正無) Cantilever SI-DF40H(Al) 10pcs |
Al | － | 42 | 250～390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| CFE-0056 | ハイアスペクト探針（アスペクト比1:5）。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角＜10° 80度程度の急峻側面に有効。 |
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| ｾﾝｻｰ内蔵型ﾚﾊﾞｰPRC-DF40P Self sensing Cantilever PRC-DF40P 10pcs |
なし | － | 40 | 300～500 | 20 （※1） |
8 | 120 | 50 | － | 10本／組 |
| GCB-0024 | レバー最先端部にTipを取付けたTip View型のセンサー内蔵型DFMカンチレバー （光てこ系不要）専用カンチレバーホルダー必要。販売終了2030年3月31日。 |
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測定モード：FFM、LM-FFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-AF01(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-AF01(Al) 30pcs |
Al | － | 0.2 | 10～17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | 30本／組 |
| GCB-0112 | FFM、LM-FFM標準推奨品。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3(Al) 30pcs |
Al | － | 1.6 | 23～31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0115 | FFM、LM-FFM標準推奨品。 | |||||||||
測定モード：VE-AFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-AF01(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-AF01(Al) 30pcs |
Al | － | 0.2 | 10～17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | 30本／組 |
| GCB-0112 | VE-FFM標準推奨品。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3(Al) 30pcs |
Al | － | 1.6 | 23～31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0115 | VE-FFM標準推奨品。 | |||||||||
測定モード：VE-DFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3(Al) 30pcs |
Al | － | 1.6 | 23～31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0115 | VE-DFM標準推奨品。 | |||||||||
測定モード：アドヒージョン
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3(Al) 30pcs |
Al | － | 1.6 | 23～31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0115 | アドヒージョン標準推奨品。 | |||||||||
測定モード：ヤング率測定
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-FC40(400 nm) (背面Alｺｰﾄ無) Cantilever SI-FC40(400 nm)(Si) 10pcs |
なし | － | 42 | 250～390 | 400 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| GCB-0039 | フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア用。 | |||||||||
電磁気物性モードの推奨カンチレバー
測定モード：Nano/Pico Current AFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0150 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
測定モード：KFM(AFM5000、AFM5000Ⅱ、AFM100、AFM5500Mシリーズ用)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
測定モード：KFM(AFM100シリーズ、AFM5500MⅡのみ対応)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0150 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
測定モード：EFM-DC
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
測定モード：EFM-AC(AFM5000、AFM5000Ⅱ、AFM100、AFM5500Mシリーズ用)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
測定モード：EFM-AC(AFM100シリーズ、AFM5500MⅡのみ対応)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0150 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
測定モード：PRM(AFM5000、AFM5000Ⅱ、AFM100、AFM5500Mシリーズ用)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0150 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 7.4 1.2～29 |
160 75～265 |
<25 | 10～15 | 150 140～160 |
27 19.5～34.5 |
2.8 1.8～3.8 |
10本／組 |
| CFE-0147 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
測定モード：SSRM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40-CD(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF40-CD(Al) 10pcs |
Al | ダイヤモンド | 80 | 225～610 | 100～ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 10本／組 |
| GCB-0103 | SSRM用標準推奨品。Bドープダイヤモンドコート。 | |||||||||
測定モード：SNDM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 1.6 0.6～3.9 |
27 19～35 |
<25 | 10～15 | 450 440～460 |
55 47.5～62.5 |
4 3～5 |
10本／組 |
| CFE-0145 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0150 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20-PI(背面PtIr5ｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20-PI(PtIr5) 10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 7.4 1.2～29 |
160 75～265 |
<25 | 10～15 | 150 140～160 |
27 19.5～34.5 |
2.8 1.8～3.8 |
10本／組 |
| CFE-0147 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚25 nm）。 | |||||||||
測定モード：MFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-MF3F(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-MF3F(Al) 10pcs |
Al | 磁性体 コート |
2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<50 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFE-0149 | 探針Co合金コーティング（膜厚40 nm）、測定前再着磁推奨。 背面ALコーティング（膜厚30 nm）。 |
|||||||||
その他カンチレバー
測定モード：DFM(Phase)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3P2(Al) 10pcs |
Al | － | 2 | 50～90 | 7 | 14 | 240 | 40 | 2.3 | 10本／組 |
| CFE-0053 | 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF20P2(Al) 10pcs |
Al | － | 9 | 100～200 | 7 | 14 | 200 | 40 | 3.5 | 10本／組 |
| CFE-0049 | DFM標準推奨品。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever SI-DF40P2(Al) 10pcs |
Al | － | 26 | 200～400 | 7 | 14 | 160 | 40 | 3.7 | 10本／組 |
| CFE-0057 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF20(背面Alｺｰﾄ無) Cantilever SI-DF20(Si) 30pcs |
なし | － | 15 | 110～150 | 10 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | 30本／組 |
| GCB-0116 | DFM用。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF40(背面Alｺｰﾄ無) Cantilever SI-DF40(Si) 30pcs |
なし | － | 42 | 250～390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 30本／組 |
| GCB-0117 | DFM用。 | |||||||||
測定モード：Nano/Pico Current AFM
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-DF3F-A2(背面Auｺｰﾄ) Cantilever SI-DF3F-A2(Au) 10pcs |
Au | Au | 2.8 0.5～9.5 |
75 45～115 |
<50 | 10～15 | 225 215～235 |
28 20～35 |
3 2～4 |
10本／組 |
| CFE-0146 | 両面金コーティング（膜厚50 nm）。液中DFM腐食対応。 | |||||||||
| ﾏｲｸﾛｶﾝﾁﾚﾊﾞｰSI-AF01-A2(背面Auｺｰﾄ) Cantilever SI-AF01-A2(Au) 10pcs |
Au | Au | 0.2 0.02～0.77 |
13 6～21 |
<50 | 10～15 | 450 440～460 |
50 42.5～57.5 |
2 1～3 |
10本／組 |
| CFE-0148 | 両面金コーティング（膜厚50 nm）。柔らかい試料対応。 | |||||||||
プリマウントレバー
測定モード：DFM(Phase)
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾌﾟﾘﾏｳﾝﾄﾚﾊﾞｰPMT-DF3P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever PMT-DF3P2(Al)(AFM100) 10pcs |
Al | － | 2 | 50～90 | 7 | 14 | 240 | 40 | 2.3 | 10本／組 |
| CFH-0092 | 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
| ﾌﾟﾘﾏｳﾝﾄﾚﾊﾞｰPMT-DF40P2(背面Alｺｰﾄ) Cantilever PMT-DF40P2(Al)(AFM100) 10pcs |
Al | － | 26 | 200～400 | 7 | 14 | 160 | 40 | 3.7 | 10本／組 |
| CFH-0091 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。先端部に探針取付けの為、位置決めに推奨。 | |||||||||
測定モード：KFM、電気物性測定用
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾌﾟﾘﾏｳﾝﾄﾚﾊﾞｰPMT-DF3-R(背面Alｺｰﾄ) CantileverPMT-DF3FPI(PtIr5)(AFM100)10pcs |
PtIr5 | PtIr5 | 2.8 1.2～5.5 |
75 60～90 |
<25 | 10～15 | 225 220～230 |
28 22.5～32.5 |
3 2.5～3.5 |
10本／組 |
| CFH-0097 | 両面白金イリジウムコーティング（膜厚23 nm）。 | |||||||||
測定モード：マーキング用
| 型番 | 背面 コート |
探針先端 コート |
K (N/m) |
F (kHz) |
R (nm) |
D (µm) |
L (µm) |
W (µm) |
T (µm) |
数量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード | 用途・内容 | |||||||||
| ﾌﾟﾘﾏｳﾝﾄﾚﾊﾞｰPMT-DF40-CD(背面Alｺｰﾄ) Cantilever PMT-DF40-CD(Al)(AFM100) 10pcs |
Al | ダイヤモンド | 80 | 225～610 | 100～ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | 5本／組 |
| CFH-0094 | マーキング推奨品 | |||||||||
※ 上記プリマウントレバーPMTシリーズは、AFM100シリーズのプリマウントホルダーが必要です。
標準試料・試料台（走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）用）
標準試料
| 品名 | HOPG標準試料 HOPG Standard Sample 12 mm Square |
HOPG標準試料 HOPG Standard Sample 5 mm Square (4/set) |
校正用スタンダード 試料 STS3-1000P Calibration Standard Sample STS3-1000P |
校正用レファレンス 試料 STR3-1000P Calibration Reference Sample STR3-1000P |
校正用レファレンス 試料 STR10-1000P Calibration Reference Sample STR10-1000P |
|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード |  GBB-0017 |
 CFE-0505 |
 GCB-0038 |
GCB-0023 |
CFE-0510 |
| 数量 | 1式 | 4個/組 | 1式 | 1式 | 1式 |
| 内容 | 試料サイズ 12 mm角 |
試料サイズ 5 mm角 |
段差1000Å | 段差1000Å ピッチ3 µm |
段差1000Å ピッチ10 µm |
| 品名 | PMMAヤング率測定 標準サンプル PMMA Sample (50X10X1.5 mm) (20/set) |
マイカ標準試料 Mica Standard Sample |
|||
| 品目コード |  GAA-0966 |
 GBB-0007 |
|||
| 数量 | 20枚/式 | 1式 | |||
| 内容 | PMMA (50×10×1.5 mm) |
1 cm×1 cm |
試料台
| 品名 | 試料台(20 mm径10個組) Sample Stage (diameter 20 mm 10pcs/set) |
試料台(30 mm径10個組) Sample Stage (diameter 30 mm 10pcs/set) |
ゲルパック(5個組) 静電気対策品 Gel Case (5/set) |
シャーレセット (ステージ/PTFE2個) Schale(Stage_PTFE,2pcs) |
シャーレセット (ステージ/ガラス2個) Schale(Stage_glass,2pcs) |
|---|---|---|---|---|---|
| 品目コード |  GCB-0098 |
 GCB-0078 |
 CFE-0511 |
 GAA-0223 |
 GAA-0224 |
| 数量 | 10枚/組 | 10枚/組 | 5個/組 | 1式 | 1式 |
| 内容 | 20 mm径Niメッキ | 30 mm径Niメッキ | 静電気対策品 | 液中測定用 | 液中測定用 |
| 品名 | ウエハー用 断面測定用試料台 Wafer_Sample Holder |
マグネット試料台 AFM5300E用 Magnetic Sample stage for AFM5300E |
加熱冷却試料板 AFM5300E用 Heating/Cooling Sample Plate 53E (5/set) |
ゲル台 Gel Plate for AFM5400L |
ゲルプレート Gel Plate for AFM5500Mseries (2/set) |
| 品目コード |  GCB-0075 |
 CFE-0513 |
 CFE-0514 |
 GBB-0117 |
 AHS-0654 |
| 数量 | 1式 | 1式 | 5個/組 | 1式 | 2個/組 |
| 内容 | サンプル厚1 mm以下 | 20 mm試料台5個付属 | 10 mmX10 mmX0.5 mm (銅製) |
AFM5400L用 | AFM5500Mシリーズ |
消耗品の価格について
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