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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

TS/CSホルダ

「ウェーハサンプルの固定が容易なホルダが欲しい」、「ウェーハサンプルの接着媒体からのアウトガスによるコンタミネーションの発生を抑えたい」などのご要望にお応えするため、扱いやすく機械的にウェーハサンプルを固定できるホルダをご用意いたしました。
これにより、ウェーハサンプルをホルダにセットする際の作業効率向上が図れます。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

TSホルダ(ウェーハサンプル表面観察用)対応機種:S-5500/SU9000

特長

  • グリッパ移動方式による機械的な固定方法を採用しています。そのため、ペースト類を使用した時の乾燥待ち時間が不要となり、観察終了後に試料を取り外す際も試料を破損させることなく取り外しが可能です。
  • ウェーハサンプルをホルダに取り付けるときは、TSホルダ専用ベースに固定します。固定することによりグリッパが自動で後退し、サンプルをセット後にストッパを解除すると、グリッパが前進し固定されます。


ウェーハサンプル取り付け時
(専用ベース使用)

固定方法

ウェーハサンプル断面観察用に、CSホルダも取り扱っております。

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