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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計最新モデルです。


価格
FT160S/160Sh:¥17,500,000~
FT160/160h:¥17,900,000~
FT160L/160Lh:¥20,000,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

X線光学系にポリキャピラリを採用

約30 μmφに高輝度な1次X線を照射し高精度測定を実現しました。

検出器系に高性能半導体検出器(SDD)を採用

高計数率半導体検出器(SDD)で高精度測定を実現しています。

画像処理ソフトによる自動測定アシスト機能

正確な多点自動測定による高効率化を実現しています。

シンプルなソフトデザインとヘルプ機能で簡便操作

日々のルーチン測定は、登録したアプリを用いて簡単に行うことができます。

作業者の安全・安心に配慮した装置デザイン

X線漏洩のリスクが非常に少ない密閉型筐体を採用しています。また、扉開口部を大きくし、試料の視認性や操作性を追求しました。

 

仕様

型式FT160SFT160ShFT160FT160hFT160LFT160Lh
X線発生源 標準 高エネルギー 標準 高エネルギー 標準 高エネルギー
Mo W Mo W Mo W
測定対象元素 13Al から92U
試料台(mm) 300(W) × 245(D) 420(W) × 320(D) 620(W) × 620(D)
測定可能試料サイズ(mm) 300(X) × 245(Y) × 80(Z) 400(X) × 300(Y) × 100(Z) 600(X) × 600(Y) × 20(Z)

 

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

保守・サービス

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