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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SEMICON Japan 2016 プロセスに価値を+Plus 世界トップレベルのハイテクソリューションをお届けします

日立ハイテクノロジーズ(日立ハイテク)グループブースのご案内

日立ハイテクグループは、「プロセスに価値を+Plus (Process +Plus Values)」をテーマワードにIoT・パワーデバイス、先端微細化向けソリューションを展示致します。新製品として、高加速CD-SEM:CV5000シリーズ他が初お披露目となります。産業用ロボットNEXTAGEや小口径マルチウェーハサイズ対応 新型測長SEM CS4800モックアップも展示致します。何卒ご来場賜りますようご案内申し上げます。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクソリューションズ
株式会社日立ハイテクフィールディング
株式会社日立ハイテクファインシステムズ

会期

2016年12月14日(水)~16日(金)
10:00~17:00

会場

東京ビッグサイト

所在地・交通案内

入場料

無料

日立ハイテクグループブース

出展製品

出展者セミナー

小口径マルチウェーハサイズ対応 新型測長SEM「CS4800」のご紹介

会場: 東展示場 東4ホール
12月14日(水) 15:00-15:50
12月16日(金) 11:20-12:10

主催

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)

出展製品 一覧 | 出展ブース ≪ 東5ホール(5045)≫

出展者セミナー

計測・検査ソリューション関連

小口径マルチウェーハサイズ対応 新型測長SEM「CS4800」のご紹介

会場:東展示場 東4ホール

8"Wafer以下の半導体は世界全体の45%で、12"Waferと同様、安定的生産量維持が必要不可欠です。またIoTに代表される新規のデバイス生産も増加しています。これらのニーズに対応し、日立ハイテクは、小口径マルチウェーハ対応測長SEM CS4800を開発。本セミナーではその製品紹介を行います。

日立ハイテクグループブースへのアクセス
ビッグサイト会場地図