日立ハイテクグループは、「プロセスに価値を＋Plus (Process ＋Plus Values)」をテーマワードにIoT・パワーデバイス、先端微細化向けソリューションを展示致します。新製品として、高加速CD-SEM：CV5000シリーズ他が初お披露目となります。産業用ロボットNEXTAGEや小口径マルチウェーハサイズ対応 新型測長SEM CS4800モックアップも展示致します。何卒ご来場賜りますようご案内申し上げます。
株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクソリューションズ
株式会社日立ハイテクフィールディング
株式会社日立ハイテクファインシステムズ
2016年12月14日（水）～16日（金）
10:00～17:00
東京ビッグサイト
無料
小口径マルチウェーハサイズ対応 新型測長SEM「CS4800」のご紹介
会場： 東展示場 東4ホール
12月14日(水) 15:00-15:50
12月16日(金) 11:20-12:10
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）
会場：東展示場 東4ホール
8"Wafer以下の半導体は世界全体の45%で、12"Waferと同様、安定的生産量維持が必要不可欠です。またIoTに代表される新規のデバイス生産も増加しています。これらのニーズに対応し、日立ハイテクは、小口径マルチウェーハ対応測長SEM CS4800を開発。本セミナーではその製品紹介を行います。
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