「プロセスに価値を+PLUS:IoT、パワー、最先端デバイス製造を実現する日立ハイテクのベストソリューションをご提供」
日立ハイテクグループは、「IoT・パワー ソリューション」 および 「最先端微細化ソリューション」向けの製品をご用意し、皆さまのお越しをお待ちしております。
株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクソリューションズ
株式会社日立ハイテクフィールディング
株式会社日立ハイテクファインシステムズ
2017年12月13日(水)~15日(金)
10:00~17:00
東京ビッグサイト
無料・事前登録制
SEMI
会場: 東展示場 東4ホール
テーマ1:測長SEMのマッチングについて
12月13日(水) 13:40-14:30
12月15日(金) 12:40-13:30
テーマ2:SiCの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現するミラー電子式検査装置Mirelis VM1000
12月14日(木) 12:40-13:30