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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SEMICON Japan 2017 マジックが起きる

日立ハイテクノロジーズ(日立ハイテク)グループブースのご案内

「プロセスに価値を+PLUS:IoT、パワー、最先端デバイス製造を実現する日立ハイテクのベストソリューションをご提供」
日立ハイテクグループは、「IoT・パワー ソリューション」 および 「最先端微細化ソリューション」向けの製品をご用意し、皆さまのお越しをお待ちしております。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクソリューションズ
株式会社日立ハイテクフィールディング
株式会社日立ハイテクファインシステムズ

会期

2017年12月13日(水)~15日(金)
10:00~17:00

会場

東京ビッグサイト

所在地・交通案内

入場料

無料・事前登録制

主催

SEMI

日立ハイテクグループブース

出展製品

出展者セミナー

会場: 東展示場 東4ホール

テーマ1:測長SEMのマッチングについて
12月13日(水) 13:40-14:30
12月15日(金) 12:40-13:30

テーマ2:SiCの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現するミラー電子式検査装置Mirelis VM1000
12月14日(木) 12:40-13:30

出展製品 一覧 | 出展ブース ≪ 東5ホール(5045)≫

IoT・パワーソリューション

製造プロセス ソリューション

計測・検査ソリューション

IoT・パワーソリューション

  • イオンビームミリング装置(日立ハイテクソリューションズ製品)
  • ウェットステーション(日立ハイテクソリューションズ製品)
  • 超音波映像装置(日立ハイテクソリューションズ製品)
  • IJP工法によるゾルゲル薄膜PZT技術(日立ハイテクファインシステムズ製品)
  • 光焼成装置 / PulseForge

先端微細化ソリューション

製造プロセスソリューション

計測・検査ソリューション

オフライン解析ソリューション

アフターセールスソリューション

ビッグサイト会場地図

日立ハイテクグループブースへのアクセス