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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SEMICON Japan 2018

日立ハイテクノロジーズ(日立ハイテク)グループブースのご案内

「プロセスに価値を+PLUS」日立ハイテクグループは、最先端LSI、メモリデバイス向けの新材料対応や複雑なプロセス対応から 5G・RF等のIoTデバイス、SiCパワー半導体まで、独自のマイクロ波ECRプラズマ技術や卓越した電子線・光学技術をコアとした、加工・計測・検査・解析等さまざまなソリューションをお届けします。




株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクソリューションズ
株式会社日立ハイテクフィールディング
株式会社日立ハイテクファインシステムズ

会期

2018年12月12日(水)~14日(金)
10:00~17:00

会場

東京ビッグサイト

所在地・交通案内

入場料

無料・事前登録制

主催

SEMI

日立ハイテクグループブース

出展製品

出展者セミナー

Tech SPOT EXHIBITOR SEMINARS

会場: 東展示場 東4ホール

テーマ1:CD-SEMによるEdge Placement Error (EPE)の計測課題と対策
12月12日(水) 13:40-14:30
12月13日(木) 12:40-13:30

テーマ2:SiCの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現するミラー電子式検査装置Mirelis VM1000
12月14日(金) 13:40-14:30

出展製品 一覧 | 出展ブース ≪ 東5ホール(5045)≫

IoT・パワーソリューション

先端微細化ソリューション

オンライン解析・アフターセールスソリューション

オフライン解析体験コーナ

  • 日立卓上顕微鏡 Miniscope TM4000 実機体験

サポート

THE 高専

高等専門学校の学生による研究発表と展示
協賛企業の一員として、協力して運営しております。

未来College @GAKKO

未来を探す学生に未来を見つける半導体業界の学びの場
日立ハイテクブースにお立ち寄りください。

ビッグサイト会場地図

日立ハイテクグループブースへのアクセス