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日立ハイテク

日立ハイテク 走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900 電子顕微鏡を使用した、最新EDSをご紹介!元素分析、こんな“あるある”感じていませんか?


元素分析、こんな“あるある”感じてませんか?

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ポイント①:最新のEDSはスピードと分析精度が違います。

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EDS検出器には、面積とエネルギー分解能という性能に関わる仕様があります。
EDS検出器の面積が大きくなると、X線を多く取り込む事が可能となり、
元素分析スピードが上がります。

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エネルギー分解能はスペクトルの幅が狭いか?広いか?という数値となります。

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赤色スペクトル133eV 黄色スペクトル127eV


スペクトルが細いと、近似に別の元素が存在した場合、正確に定性出来る可能性が高くなります。




ポイント②:高速元素マッピングで、局所元素を可視化!

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従来の元素マッピングは時間がかかる為、スペクトル分析のみ行うケースもございました。
最新のEDSでは、1分で鮮明な元素マッピングが可能です。
以下は鉱物の元素マッピング事例ですが、1分でAlやFeの微量な局所元素を可視化しております。


サンプル:岩石

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ポイント③:異物自動分析で作業効率化!

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高品質なものづくり実現のため、製造工程の洗浄管理は重要です。
内部または外的要因で発生した異物を自動で測定可能となるソフトウェアが自動粒子解析となります。
日立製電子顕微鏡SU3900では、47㎜フィルタを6枚セットすることで効率的に分析作業を行うことが可能です。



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作業手順や詳細な説明は営業から実施しております。ご興味がありましたらお問い合わせください。



異物分析用にスペクトルマッチングという機能もございます。
スペクトルマッチングでは取得したスペクトルから材料評価が可能です。

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スペクトルマッチングでは、ソフトウェアのライブラリと照合し材料を特定することが可能です。
ライブラリに入っていない材料DBは、材料のスペクトルを取得し登録することも可能です。

→さらに詳しく知りたい人は、こちら



アプリケーション事例のご紹介

日立ハイテクのSEMを用いた、電子部品や樹脂のアプリケーション事例をご紹介いたします。
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