電子顕微鏡は光より波長の短い「電子」を用いることで、微細な構造を観察でき、金属・セラミックス・半導体などの無機材料から、高分子・生物組織まで、幅広い分野で利用されています。
試料表面に電子をあてた際に発生する電子を利用して、表面構造を観察する走査電子顕微鏡（SEM）と、薄い試料を透過させた電子を検出することで内部構造を観察する透過電子顕微鏡（TEM）・走査透過電子顕微鏡（STEM）に大別されます。