集束イオンビーム（FIB）は、微細構造の観察や加工を行うための装置です。一方、FIB-SEM装置は、FIBの機能に加えて走査電子顕微鏡（SEM）を搭載し、観察・加工・試料作製を1台でこなす高性能な分析装置です。これらは、半導体や材料研究など、ナノレベルの精密作業が求められる分野で広く活用されています。
中でも「Ethos NX5000」シリーズは、低加速電圧でも高解像度なSEM観察が可能で、FIBによる加工と観察を同時に行える「Cut & See^®」機能を搭載しています。また、微小な試料を正確に摘出できる「マイクロサンプリング^®」や、試料へのダメージを抑えるトリプルビーム（Ar/Xe）にも対応しており、TEM試料の作製にも最適です。
さらに、3D解析やEDS・EBSDなどの多彩な分析機能、直感的に操作できるユーザーインターフェースも備えており、研究や開発の現場で高い生産性と信頼性を発揮します。