ソリューションサービス

Hitachi map 3D

TMシリーズ標準装備の4分割反射電子検出器からの信号を利用して、3次元像の構築、高さ・粗さの測定が実施できます。

S-5500／SU9000用ウエハサンプルに特化した、平面・断面試料ホルダです。ウェーハサンプルをホルダにセットする際の作業効率の向上が図れます。

フィルム使用に伴う現像作業および廃液の削減、デジタル化による業務の効率向上を図ることができます。

停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。

本装置には、タイマーリレーが付いており、自動的に冷却水を止めます。減圧定流量弁が付いており、常に一定の水圧と流量を保持します。

SEMの使用来歴と、装置状態の管理に！ユーザ名とパスワードを入れてSEMを起動。いつ、だれが、どのような条件で使用したのかを管理します。

制御用PCを交換し、ソフトウエアを更新します。

お客様の装置情報をお客様内の拠点間で画面共有することが可能に。分析・解析の効率化をサポートします。

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