イオンポンプ バックアップ電源
仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 停電時の排気継続時間 | 24時間（1週間に1回） 10日間（3ヵ月以上間隔をいた場合） |
| バッテリ交換 | 2年に1回 |
| 寸法 | 250（縦）×410（横）×360（高さ）mm |
| 切換え方式 | 装置本体から供給されているイオンポンプ駆動電源が切れると、本装置から駆動電圧を供給します。 |
| 設置環境 | 室温：15～25℃ 湿度：60％以下 電源：単相AC100V、±10％、50/60Hz |
本製品を使用した場合、停電時でも電子銃の真空度を維持できますが、SE-TIP、LMISの加熱は停止します。停電復帰後、SE-TIPおよびLMISのコンディショニングは必要となります。
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