電子顕微鏡周辺装置
各種の電子顕微鏡周辺装置をご紹介します。
製品一覧
TEM/SEM試料前処理装置
イオンミリング装置を用いると、FIBでは困難な広領域の試料断面を作製することができます。
イオンスパッタは非導電性試料に導電性を付加し、電子顕微鏡観察時の帯電現象(チャージアップ)による像障害を防止します。
サンプルクリーナーは、UV光照射により試料表面に付着したハイドロカーボンを除去し、試料本来の構造の観察に寄与します。
その他、試料の切断、研磨、超薄切片作製のための装置をご紹介します。
BRUKER エネルギー分散型X線分析装置 Quantaxシリーズ
Quantaxは電子顕微鏡（SEM、TEM/STEM）などに用いられるエネルギー分散型X線分析（Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDS）に最適な超高感度半導体検出器を搭載したシステムです。検出器には液体窒素を必要としない新型第6代 Silicon Drift Detector（SDD） XFlash®検出器を採用することで、操作性の向上のみならず、カウントレートおよびエネルギー分解能において、Si（Li）検出器を凌駕する性能を実現しました。
EDAX エネルギー分散型X線分析装置 Element
エネルギー分散型X線分析装置 Element（エレメント）は、検出器の先端に世界で初めてSi3N4（シリコンナイトライド）ウィンドウを採用し、高感度化を実現した画期的なEDXです。高感度化に加え、分析スピード、耐久性も向上しています。
EDAX エネルギー分散型X線分析装置TEAM™ EDS System
TEAMTM EDSはさまざまな分析がスムーズかつシンプルに行え、信頼性の高い高精度データが簡単に収集できるように開発されました。 それは、単なる操作性の変更にとどまらず、分析アルゴリズムを見直すことで、簡単な操作性にも関わらず、高精度な分析結果を得ることが可能です。
GATAN イメージングフィルター GIFシリーズ
GIF QuantumTMシリーズは、Gatan の第4世代、最新バージョンのポストカラム型エネルギーフィルターです。
デザインを一新した GIF QuantumTMは、高度な12極ベースの電子光学レンズと超高速CCDカメラシステムの組み合わせによる最先端技術を結集したイメージングフィルターです。EELSスペクトルの微細形状とEFTEM画像のデータを高速で取得するのに最高の機能を発揮します。
EFTEMで使っても、EELSとして使っても、GIF QuantumTMの性能に差は生じません。Gatanパテントを持つセンサー読み出し技術（US Patents 5946033 および 7157720）を使用することで、同じCCDセンサーを、フルフレーム利用で高品質イメージングデバイスに生まれ変わらせ、高速ライブ画像観察装置と超高速スペクトロメータのどちらにも使用できます。
GATAN 電子線エネルギー損失スペクトル分光装置 ENFINA® 1000
ENFINA® EELSシステムはパラレル検出方式の電子線エネルギー損失スペクトル分光器の次世代モデルです。最新のCCDテクノロジーと分光系の完全コンピュータ制御化により、微小分析に携わる研究者の皆さまに最良のシステムをご提案いたします。 ENFINA®システムは、ほとんどの既存のTEMを効果的な分析ツールに変えることが可能です。 TEMのカメラ室下部にENFINA®を装着すれば、電子線エネルギー損失解析やマッピングを行うことが可能となり、サンプルの構成元素の組成情報まで取り出すことが可能となります。 ENFINA® EELSシステムは微小分析を行うユーザーの皆さまに迅速かつ正確な分析ツールをご提供いたします。
OXFORD エネルギー分散型X線分析装置 AZtecEnergyシリーズ
SDD検出器対応の新型EDXエンジンTru-QTMで、これまで以上に正確な定性分析・定量分析ができるとともに、元素マッピングは4000×4000に対応。一般的にEDXではオーバーラップしてしまう元素ピークを、データ収集中にリアルタイムでピーク分離して各元素マップを表示できます。
イオンミリング装置 ArBlade® 5000
日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。 高スループット断面ミリングによって、電子顕微鏡用の断面試料作製がさらに身近になりました
イオンミリング装置 IM4000II
日立イオンミリング装置のスタンダードモデルであるIM4000IIは、断面ミリングと平面ミリング（フラットミリング®*1）に対応しています。冷却温度調整機能や雰囲気遮断ホルダユニットなど、各種オプションにより、さまざまな試料の断面試料作製が可能です。
関連情報
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution（セメボリューション）」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。
