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日立ハイテク
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卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000II/TM4000PlusII

写真:卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000II/TM4000PlusII

卓上SEMは、次のステージへ。

もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。
新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。

中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品(生産性向上設備(A類型))です。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

画像観察まで3分。目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

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観察・分析のフレキシビリティ

多彩なデータをオートで取得。切替も迅速!

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迅速な元素マップ*2の取得が可能

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*1 TM4000PlusⅡの機能です

*2 オプション

Camera Navi*を使えば、こんなに簡単

カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート

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* オプション:カメラナビゲーションシステム

基本操作はこんなに簡単・スピーディ

画像観察までわずか3分。
目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

Report Creatorで手軽にレポート作成

画像とテンプレートを選択するだけでMicrosoft Word、Excel、PowerPoint 形式のレポートが完成

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絶縁物試料でも前処理なしでそのまま観察可能です。

帯電現象を抑える「帯電軽減モード」

帯電しやすい試料は「帯電軽減モード」を用いることで、帯電を抑えて観察できます。
「帯電軽減モード」への切り替えは、ソフトウエア上からマウスクリックで行えます。

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低真空で多彩な観察が可能

帯電しやすい粉末や含水試料などの試料も目的にあわせて観察できます。

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低真空下での二次電子像(表面形状)観察を実現します。

前処理不要で絶縁物や水分・油分を含む試料の表面観察を実現

これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。

高感度低真空二次電子検出器

高感度低真空二次電子検出器(UVD)を採用。電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。また、本検出器をコントロールすることにより、電子線照射により発生した光を検出することでCL情報(UVD-CL:CL情報を含んだ画像)を取得することが可能です。

高感度低真空二次電子検出器の検出原理
高感度低真空二次電子検出器の検出原理
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加速電圧20 kV対応

TM4000Ⅱ/ TM4000Plus IIは加速電圧20 kV対応になりました。
EDS分析(オプション)において、より高計数の分析が可能となりました。

加速電圧20 kVによるEDSマッピングの高S/N化

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Multi Zigzag(オプション)

SEM観察を広い領域で行いたいという要望にお応えしました。
モータードライブステージとの併用で、SEMで撮影が困難な低倍高精細広領域観察が行えます。

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こんなに簡単、EDX分析

マッピング分析

スペクトル分析

ライン分析

STEMホルダー(オプション)

簡易的な透過電子像が観察可能です。

新開発のSTEMホルダーと高感度低真空二次電子検出器(UVD)を組み合わせて使用することで、簡便に透過電子像の取得が可能です。
薄膜試料や、生体サンプルの観察に有効です。

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* UVDはTM4000Plus IIの機能です。

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試料 : 研磨剤
加速電圧 : 20 kV
観察信号 : (a) STEM像, (b) 反射電子像
倍率 : 10,000倍
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試料 : 研磨剤
加速電圧 : 20 kV
観察信号 : (a) STEM像, (b) 反射電子像
倍率 : 10,000倍
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試料: ラットの腎臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 1,000倍
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試料: ラットの肝臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 5,000倍

製品紹介プレゼンテーション

プレゼンテーションをWEBセミナー形式でご覧いただけます。
(会員制サイト“S.I.navi”へのご登録が必要です(ご登録無料)。ご登録はこちら
製品紹介プレゼンテーションのサムネイル画像

コンパクトで高品質なイメージングを提供する、卓上顕微鏡を紹介いたします。

アプリケーションギャラリー

分野別の観察事例をご覧いただけます。

アプリケーションギャラリー

仕様

項目TM4000PlusIITM4000II
倍率 ×10~×100,000(写真倍率)
×25~×250,000(モニター倍率)
加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
画像信号 反射電子
二次電子
合成(反射電子+二次電子)
反射電子
真空モード 導電体(反射電子のみ)
標準
帯電軽減
標準
帯電軽減
試料可動範囲 X:40 mm Y:35 mm
最大試料サイズ 80 mm(径) 50 mm(厚さ)
電子銃 プリセンタードカートリッジフィラメント
検出器 反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
二次電子:高感度低真空 二次電子検出器
反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
排気系
(真空ポンプ)
ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台
ダイアフラムポンプ:20 L/min
大きさ・質量 本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ) mm、54 kg(モータードライブステージ付)
本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ) mm、54 kg(マニュアルステージ付)
ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm

技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

SEMの測定例を紹介します。

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年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。

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