－解析ツール・計測技術により表面形状の三次元測定を支援－
ナノ3D光干渉計測システム「VS1800」は複数試料の比較をサポートする「ISO 25178*1 パラメータ比較ツール」を標準搭載しており、簡単・適切な試料評価によりお客様の解析業務を支援するとともに、これまで培ってきた三次元測定性能で高精度・高分解能な表面形状計測を実現します。
半導体、自動車、食品、医薬品などの産業分野での材料の研究・開発においては、製品の性能・機能向上を図るため、表面粗さや凹凸、うねりなど表面形状の評価が不可欠となっています。従来、表面形状の計測方法は、触針式粗さ計などによるニ次元測定（線＋高さ）が一般的でしたが、近年の材料の薄膜化や微細構造化の加速に伴い、より多くの情報を取得する必要があることから、走査型白色干渉顕微鏡*2 やレーザー顕微鏡*3 などによる三次元測定（面＋高さ）が活用されています。
また2010年に三次元表面性状の評価に関する国際規格ISO 25178 が制定され、その評価方法が確立したことを背景に、三次元測定を実施する企業・研究機関などが増加していることから、表面形状計測における計測・解析の簡易化と、多種多様な試料の計測への対応が求められてきました。
このたび発売する「VS1800」は、ISO 25178 を参考にした解析ツールである「ISO 25178 パラメータ比較ツール」を当社製品として標準搭載しています。ISO 25178 では表面形状を評価する32項目のパラメータが定められていますが、試料を比較する際、評価に最適なパラメータの選択が難しく、解析業務の課題となっています。「ISO 25178 パラメータ比較ツール」は、測定したパラメータ値を差異が大きい順に自動で順位づけることでき、試料の比較に最適なパラメータ選択を容易にすることで、お客様の解析業務をサポートします。
また「VS1800」は、光干渉方式*4 による広い計測視野、0.01 nmの垂直分解能*5 、高い測定再現性のほか、日立ハイテクサイエンスの独自技術による多層膜の非破壊計測など、従来製品の高い計測性能を継承しています。なお、従来製品から引き続き「高傾斜測定オプション」*6 が搭載でき、高傾斜面の微弱な干渉縞の変化を捉えることにより、光干渉方式では困難であった高傾斜面の計測を実現し、多種多様な試料の表面形状の三次元測定に対応しています。
日立ハイテクグループは、極微細試料の高分解能測定が可能な走査型プローブ顕微鏡・走査電子顕微鏡から、広域視野で高精度測定が可能な「VS1800」までラインアップを揃えることで、お客様の幅広いニーズに対応する表面解析ソリューションを提供してまいります。
| 垂直分解能 | 光干渉方式を用いた独自のアルゴリズムにより垂直分解能0.01 nm* を実現 |
|---|---|
| 再現性 | 凹凸の高さ測定に干渉縞を用い、Z駆動機構からの影響を最小化することで、再現性0.1 %以下* を実現 |
| 測定スピード | 試料の前処理が不要なため、試料ステージに試料を設置するだけで測定準備が完了。光干渉方式により最速5秒で測定が可能 |
| 測定視野 | 干渉縞から得た情報をもとに試料の凹凸の高さを測定するため、広範囲（ワンショット最大6.4 mm×6.4 mm）計測と高い垂直分解能を両立。また複数データの画像連結を行うことでさらに広範囲での解析が可能 |
| 非破壊計測 | 日立ハイテクサイエンスの独自技術により、ガラス・フィルムなどの透明な積層試料の測定において、試料を加工し断面を形成することなく、非破壊で多層構造の各層の厚みや異物混入位置の確認、欠陥解析などが可能 |
直観的に操作可能なインターフェースを採用することで、画像解析処理前後の画像比較を容易に行うことができ、分析時の最適な画像処理選択をサポート。 また処理や解析内容のリスト化、独自解析レシピの作成、解析レシピの繰り返し使用などが簡単に行え、かつ大量データの一括処理が可能なため、複数のサンプルや解析結果を一元管理し、手間のかかる後処理を軽減。
複数の試料を比較する際、ISO 25178で定められた32項目のパラメータ値を差異の大きい順に並び変えることで、試料の比較に最適なパラメータ選択を容易にし、お客様の解析業務のサポートを実施。
XYステージの駆動方法ごとに、ベースモデルである手動タイプのType 1、電動タイプのType 2・Type 3の3機種をラインアップ。Type1からType2・Type3へ、用途に合わせたアップグレードが可能。
| Type 1 | Type 2 | Type 3 | ||
|---|---|---|---|---|
| Z軸 | モーター駆動 | 標準搭載（最大測定Zレンジ～10 mm） | ||
| PZT駆動 | 追加オプション（最大測定Zレンジ～150 μ m） | |||
| XYステージ | 駆動方法 | 手動 | 電動 | |
| 移動領域 | ±50 mm | ±75 mm | ||
| ステージサイズ | W205×D150 mm | W225×D225 mm | ||
| ゴニオステージ | 駆動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動領域 | ±2° | ±5° | ||
| 測定用カメラ | 標準 または 高画素カメラ | |||
| 鏡筒 | ×1 または ×0.5 | |||
| ズームレンズ（×0.7） | 追加オプション | |||
| 対物レンズ | ×2.5 ×5 ×10 ×20 ×50 ×110 | |||
| サンプル高さ | 標準 | 0～50 mm | ||
|
追加オプション かさ上げキット使用時 |
50～100 mm | 0～100 mm | ||
| コンピューターOS | Windows 10 | |||
| 除振台（架台付き） | パッシブ型 または アクティブ型 | |||
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