ナノ3D光干渉計測システム（CSI）は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。光の干渉スケールを用いることで、高さ分解能 0.01 nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1800では、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。
2020年6月16日2020年4月23日2020年4月20日2020年4月6日当社の走査型白色干渉顕微鏡（CSI）をお使いのお客様向けの情報です。
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