ナノ3D光干渉計測システム（CSI）は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。光の干渉スケールを用いることで、高さ分解能 0.01 nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1800では、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。
2020年4月23日2020年4月20日2020年4月6日
2018年10月17日2018年1月30日当社の走査型白色干渉顕微鏡（CSI）をお使いのお客様向けの情報です。
走査型プローブ顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています。
当社装置をお使いのユーザー様向けに、アプリケーションデータをはじめ各種情報をご提供しています。
生産を終了した製品一覧と、消耗品・修理部品の保有期限の一覧です。
走査型白色干渉顕微鏡に関連する最新情報をご提供しています。
「光干渉法」から各種計測モードまで、走査型白色干渉顕微鏡について解説します。
走査型白色干渉顕微鏡による観測事例を分野別にギャラリー形式でご覧いただけます。
従来の測定器では困難であったフィルム業界向けの最新測定技術をご紹介しています。
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution（セメボリューション）」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。
検索
Japan
