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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。
顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。
卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。

¥9,900,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

    特長

    1.高垂直分解能・精度・計測スピードに最も優れた非接触表面形状計測

    走査型白色干渉顕微鏡は、高さ分解能0.01 nmであり、表面形状計測装置の中でも高分解能を誇るAFMと同等であると同時に、対物レンズの倍率に依存せずに高い垂直分解能を実現するため、広い領域におけるナノオーダーの粗さ、段差の計測が可能です。
    また、XY方向の走査が不要なため、測定時間も数秒と高速計測を実現しています。

    広い視野×ナノメータ段差

    広い観察範囲と高いZ分解能

    2.非接触・非破壊 膜厚計測機能(層断面解析)

    透明積層体サンプルにおいて、断面を形成する手間をかけずに、非破壊で断面の情報を得ることが可能になります。
    各界面から得られた干渉光とレンズの高さ位置の関係から各界面の深さ情報を得ることで、各層の膜厚を計測でき、多層構造を画像化することができます。
    一般に層内部の光学界面での干渉信号は表面に比べ非常に弱いですが、VS1000シリーズでは微弱な干渉信号を独自の処理方法によって検出しているため、屈折率差の小さい積層フィルムの膜厚や、接着層の厚みムラといった計測を実現しています。


    透明多層膜では、表面・境界面・裏面で干渉縞が現れる


    生活用品 包装用多層フィルム

    3.ISO 国際標準準拠の表面粗さ測定

    VS1000シリーズは、表面粗さの評価方法を定めた国際規格であるISO25178表面性状(面粗さ測定)に準拠しています。
    JIS B0671-1/ ISO13565-1(線粗さ測定)が触針式粗さ計での評価を前提とした規格であったのに対し、ISO25178 表面性状は「非接触式」と「接触式」の2つの評価方法に対応した規格です。
    「測定箇所による結果のバラツキ」、「走査方向に依存する結果のバラツキ」という線粗さ測定特有の問題が生じない評価方法とされています。
    VS1000シリーズは、線から面への評価手法の展開をサポートします。

    国際標準準拠の表面粗さ測定

    4.微分干渉像観察機能

    通常の光学顕微鏡観察では確認が困難である微細形状を広い視野から探すことが可能になります。


    10倍明視野レンズ
    顕微鏡画像


    10倍明視野レンズ
    微分干渉像
    視野サイズ 1.3×1.0 mm


    磁気テープスクラッチ形状
    【解析内容】・3D表示 ・微分画像 ・断面プロファイル

    5.層面解析

    表面や内部界面での形状および界面間の厚みデータを算出します。
    スポットとしてではなく面全体での膜厚ムラの把握が可能になります。


    コーティング膜の膜厚分布  視野サイズ 463×347 µm


    コーティング表面の形状


    コーティング層下の金属界面の形状

    仕様

    装置仕様
     VS1330
    レボルバ マニュアル駆動
    鏡筒 選択 0.5× 1.0×
    ズームレンズ 追加オプション 0.7× 2.5× 変倍モジュール
    (1.0× 1.25× 1.5× 2.0×)
    対物レンズ 選択 5× 10× 20× 50× 110×
    測定用カメラ 選択 1/3 inch 高画素
    測定画素数 最大1024×1024画素
    Z軸方向駆動方式 Piezo
    測定レンジ
    (Wave/Focusモード)
    Piezo 80µm
    校正用サンプル 追加オプション 標準段差(VLSI Standards, Inc.)
    測定領域仕様(単位:µm)
    装置VS1330
    カメラ1/3 inch高画素
    鏡筒(ズームレンズ) 0.5× 0.5× 0.5×(0.7×)
    鏡筒
    (ズームレンズ)
    947×710 1894×1420 1126×1126 2252×2252 3218×3218
    10× 473×355 947×710 563×563 1126×1126 -
    20× 236×177 473×355 281×281 563×563 -
    50× 94×71 189×142 112×112 225×225 -
    110× 43×32 86×64 51×51 102×102 -
    二光束干渉対物レンズ
     10×20×50×110×
    マイケルソン型
    ミラウ型
    開口数 NA 0.13 0.3 0.4 0.55 0.8
    光学的分解能(µm) 2.11 0.91 0.69 0.5 0.34
    作動距離 WD(mm) 9.3 7.4 4.7 3.4 0.7
    焦点深度(µm) 16.2 3.03 1.71 0.9 0.43

    製品導入事例

    層断面の受託測定という全国唯一のサービスを支える日立CSI(走査型白色干渉顕微鏡)

     

    材料の表面をワンショットで撮影できることが選定のポイントでした。

     

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    原理解説

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    走査型白色干渉顕微鏡による加工観察事例をご紹介しています。

    フィルム業界 最新測定技術

    フィルム業界の最新測定技術をご紹介しています。

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    走査型白色干渉顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています。